凈化實驗室
潔凈實驗室位置和環境的選擇
潔凈實驗室在位置選擇方面要遵從潔凈等級的設計要求,應選擇大氣含塵濃度較低,自然環境較好的區域和地段,要遠離落葉和空氣異味的場所,(如河邊、食堂周圍、動力區域等),還要盡量避開振動或噪聲干擾的區域。
選擇實驗室周圍的位置、地形、環境時,要與精密設備、精密儀器、儀表等允許環境振動值進行分析權衡。
實驗室凈化工程的原理和作用:控制產品(如硅芯片等)所接觸大氣的潔凈度及溫濕度,使產品能在一個良好的環境空間中生產、制造。此環境空間的設計施工過程即可稱為凈化工程。 實驗室凈化工程分類: 一、凈化工程亂流式 空氣由空調箱經風管與潔凈室內之空氣過濾器(HEPA)進入潔凈工程室,并由潔凈室兩側隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規則之亂流或渦流狀態。通風柜的主要結構為:①柜體:通風柜的柜體可根據使用要求做成鋼制、木制、塑料、不銹鋼等材料。此型式適用于潔凈室等級1,000-100,000級。 優點:構造簡單、系統建造成本低,潔凈室的擴充比較容易,在某些特殊用途場所,可并用無塵工作臺,提高潔凈室等級。 缺點:亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出,易污染制程產品。另外若系統停止運轉再,欲達需求之潔凈度,往往須耗時相當長一段時間。 二、凈化層流式 層流式空氣氣流運動成一均勻之直線型,空氣由覆蓋率100%之過濾器進入室內,并由高架地板或兩側隔墻板回風。此型式適用于潔凈室等級需定較高的環境使用,一般其潔凈室等級為Class1~100。其型式可分為二種: (1)水平層流式:水平式空氣自過濾器單方向吹出,由對邊墻壁之回風系統回,塵埃隨風向排出室外,一般在下流側污染較嚴重。 優點:構造簡單,運轉后短時間內即可變成穩定。 缺點:建造費用比亂流式高,室內空間不易擴充。 (2)垂直層流式:房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋,空氣由上往下吹,可得較高之潔凈度,在制程中或工作人員所產生的塵埃可快速排出室外而不會影響其它工作區域。 優點:管理容易,運轉開始短時間內即可達穩定狀態,不易為作業狀態或作業人員所影響。 缺點:構造費用較高,彈性運用空間困難,天花板之吊架相當占空間,維修更換過濾器較麻煩。
空氣過濾器的工作原理
清除壓縮空氣中的水分及雜質進入過濾器的空氣經過旋轉式流動使水份雜質沉集在過濾器的下方,當到水位須把排水器的放水塞打開,使水排出.從氣源出來的壓縮空氣中含有過量的水份和油滴,同時還有固體雜質,如鐵銹、沙粒、管道密封劑等,這些會損壞活塞密封環,堵塞元器件上的小排氣孔,縮短元器件的使用壽命或使之失效。實驗室凈化需要有良好的監控管理,從現有條件下,實驗室凈化設計環境都會影響凈化工程正常運行,所以要針對當地狀況收集信息對設計進行調整,將質量影響控制在較低。