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發(fā)布時間:2021-06-19 07:18  
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無油真空泵近年來解決了不少科學(xué)研究和新材料、半導(dǎo)體行業(yè)的技術(shù)手段存在的基礎(chǔ)、共性問題,國內(nèi)很多企業(yè)也啟動了基礎(chǔ)、應(yīng)用研究及小規(guī)模的試制無油真空泵的探索,在不同研發(fā)階段上顯示了產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整的規(guī)劃,如在基礎(chǔ)技術(shù)、激勵機制、技術(shù)推廣、市場開拓規(guī)劃的調(diào)整等,這些舉措都為鋪展市場做好了基礎(chǔ)。(8)臨界汽蝕余量NPSHc:泵性能下降一定值的試驗汽蝕余量。
無油渦旋真空泵不僅解決了污染、振動等基礎(chǔ)性、共性問題,還使系統(tǒng)制造與運行成本降低。在生物制品與半導(dǎo)體行業(yè)中,如果應(yīng)用普通旋片油泵,會產(chǎn)生有油蒸汽污染與工藝系統(tǒng)返油問題,而無油渦旋真空泵就避免了這些問題的出現(xiàn)。應(yīng)通冷卻水或用電風扇降溫,同時,反省無關(guān)部件共同間隙并按劃定精度請求停止補綴或調(diào)換。為防止普通旋片油真空泵對真空系統(tǒng)的返油污染,需要在抽氣系統(tǒng)中加冷阱捕獲油分子,還要在系統(tǒng)運行中,定期清洗除油,增加了成本運行。因此,無油渦旋真空泵確實具有未來深廣的發(fā)展前景,是著重商業(yè)化的對象。
國內(nèi)以半導(dǎo)體、電子工業(yè)為代表的制造工藝和科學(xué)研究與分析測試行業(yè)迫切需要無油污染的真空環(huán)境,無油真空泵的研發(fā)不僅推動了應(yīng)用產(chǎn)業(yè)的整體素質(zhì),還為我國其他清潔真空獲得設(shè)備提供了有效地借鑒,帶動了整個真空獲得行業(yè)的能力和技術(shù)標準。

真空泵故障檢測方法
真空泵漏油、噴油
(1)轉(zhuǎn)軸、油窗、放油孔、油箱等部位的密封圈毀壞或裝置不正確。應(yīng)細心反省并調(diào)換玻損的密封圈,裝置螺時,使勁要平均,
(2)因先后端面不平坦或端板未壓緊,形成端面漏油。應(yīng)將端面修平并壓緊先后端板;
(3)進氣口壓強太高。應(yīng)想法削減進宇量,
(4)箱體有漏孔。應(yīng)反省謂孔部位并堵死,
(5)油量過量發(fā)生噴油,應(yīng)放出過剩的油,
(5)排氣蓋下面的擋油網(wǎng)裝反惹起噴油,應(yīng)從新裝擋油網(wǎng);
(7)忽然大氣惹起噴油。應(yīng)立即封閉低真空閥。


隨著真空應(yīng)用的發(fā)展,真空泵的種類已發(fā)展了很多種,其抽速從每秒零點幾升到每秒幾十萬、數(shù)百萬升。隨著真空技術(shù)在生產(chǎn)和科學(xué)研究領(lǐng)域中對其應(yīng)用壓強范圍的要求越來越寬,大多需要由幾種真空泵組成真空抽氣系統(tǒng)共同抽氣后才能滿足生產(chǎn)和科學(xué)研究過程的要求
常用真空泵包括干式螺桿真空泵、水環(huán)泵、往復(fù)泵、滑閥泵、旋片泵、羅茨泵和擴散泵等,這些泵是我國國民經(jīng)濟各行業(yè)應(yīng)用真空工藝過程中必不可少的主力泵種。