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無油真空泵近年來解決了不少科學研究和新材料、半導體行業的技術手段存在的基礎、共性問題，國內很多企業也啟動了基礎、應用研究及小規模的試制無油真空泵的探索，在不同研發階段上顯示了產業結構調整的規劃，如在基礎技術、激勵機制、技術推廣、市場開拓規劃的調整等，這些舉措都為鋪展市場做好了基礎。（8）臨界汽蝕余量NPSHc：泵性能下降一定值的試驗汽蝕余量。

無油渦旋真空泵不僅解決了污染、振動等基礎性、共性問題，還使系統制造與運行成本降低。在生物制品與半導體行業中，如果應用普通旋片油泵，會產生有油蒸汽污染與工藝系統返油問題，而無油渦旋真空泵就避免了這些問題的出現。應通冷卻水或用電風扇降溫，同時，反省無關部件共同間隙并按劃定精度請求停止補綴或調換。為防止普通旋片油真空泵對真空系統的返油污染，需要在抽氣系統中加冷阱捕獲油分子，還要在系統運行中，定期清洗除油，增加了成本運行。因此，無油渦旋真空泵確實具有未來深廣的發展前景，是著重商業化的對象。

國內以半導體、電子工業為代表的制造工藝和科學研究與分析測試行業迫切需要無油污染的真空環境，無油真空泵的研發不僅推動了應用產業的整體素質，還為我國其他清潔真空獲得設備提供了有效地借鑒，帶動了整個真空獲得行業的能力和技術標準。

真空泵故障檢測方法

真空泵漏油、噴油

　　(1)轉軸、油窗、放油孔、油箱等部位的密封圈毀壞或裝置不正確。應細心反省并調換玻損的密封圈，裝置螺時，使勁要平均，

　　(2)因先后端面不平坦或端板未壓緊，形成端面漏油。應將端面修平并壓緊先后端板；

　　(3)進氣口壓強太高。應想法削減進宇量，

　　(4)箱體有漏孔。應反省謂孔部位并堵死，

　　(5)油量過量發生噴油，應放出過剩的油，

　　(5)排氣蓋下面的擋油網裝反惹起噴油，應從新裝擋油網；

　　(7)忽然大氣惹起噴油。應立即封閉低真空閥。

隨著真空應用的發展，真空泵的種類已發展了很多種，其抽速從每秒零點幾升到每秒幾十萬、數百萬升。隨著真空技術在生產和科學研究領域中對其應用壓強范圍的要求越來越寬，大多需要由幾種真空泵組成真空抽氣系統共同抽氣后才能滿足生產和科學研究過程的要求

常用真空泵包括干式螺桿真空泵、水環泵、往復泵、滑閥泵、旋片泵、羅茨泵和擴散泵等，這些泵是我國國民經濟各行業應用真空工藝過程中必不可少的主力泵種。