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臭氧具有很強的氧化性，除了金和鉑外，臭氧化空氣幾乎對所有的金屬都有腐蝕作用。鋁、鋅、鉛與臭氧接觸會被強烈氧化，但含鉻鐵合金基本上不受臭氧腐蝕。基于這一點，生產上常使用含 25 ％ Cr 的鉻鐵合金（不銹鋼）來制造臭氧發生設備和加注設備中與臭氧直接接觸的部件。臭氧對非金屬材料也有了強烈的腐蝕作用，即使在別處使用得相當穩定得聚塑料濾板等，在臭氧加注設備中使用不久便見疏松、開裂和穿孔。在臭氧發生設備和計量設備中，不能用普通橡膠作密封材料，必須采用耐腐蝕能力強的硅橡膠或耐酸橡膠等。

這是它的優點，然而它的自發性分解性、性能不穩，只能隨用隨生產，不適于儲存和輸送，這是它的缺點。當然，如果從凈化水和凈化空氣的角度來看，由于其分解快而沒有殘留物質存在，又可以說成是臭氧的一大優點。這是它的優點，然而它的自發性分解性、性能不穩，只能隨用隨生產，不適于儲存和輸送，這是它的缺點。當然，如果從凈化水和凈化空氣的角度來看，由于其分解快而沒有殘留物質存在，又可以說成是臭氧的一大優點。

臭氧與水中腐殖質反應

   腐殖酸的結構含有很多孔穴，它們能截留或固定有機分子。如腐殖質能與金屬和殺蟲劑相互作用。他們還可能含有被截留在聚合的網絡中的揮發星芳香族化合物。這些化合物可能在化學氧化過程中釋放出來，導致TOC的增加或毒性的增加。所以為達到供應人們清潔、安全飲水的目的，去除原水中腐殖質是十分必要和重要的。