福建vm150普旭真空泵油誠信企業「永和勝機電」

真空泵油的選擇要求

真空泵油的耐熱安定性

表示油品的耐高溫才能，也就是光滑油對熱合成的抵御才能，即熱合成溫度。一些苛刻的真空運用環境都會對真空油品提出熱安定性的請求。

自然礦物油均有其不可防止的缺陷，耐熱性能要比合成油差，泵油的成份隨熱氧化合成極易劣化，極限壓力穩定性差，抽速也隨運用時間降落。真空泵油的清凈性摩擦副不可避免地暴露在周圍的介質，可導致腐蝕和腐蝕。普通純礦物油氧化實驗法D943為幾百小時左右，而合成油的D943可延長到3000小時以上。可見其運用壽命得到延長。

真空泵油的清凈性。摩擦副不可防止地要與四周介質接觸，惹起腐蝕、銹蝕而毀壞。表現優的真空泵油請求盡可能把摩擦面積垢清洗掃除；抗腐蝕防銹并維護摩擦外表不受油蛻變或外來腐蝕。

真空泵油的應用是廣泛的，主要有以下幾個方面：

　　1)低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中；

　　2)半導體刻蝕工藝。在這些生產工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒；

　　3)除半導體工藝外的某些產生微粒的工藝，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求；

　　4)在化學工業、醫工業、食品工業中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止溶劑造成污染，適合用干式真空泵；

　　5)用做一般無油清潔真空系統的前級泵，以防止油污染。

真空泵油相關選型與計算

     真空泵機組理論上是指容積里面不含有任何的物質。（現實中是不存在真正的真空的）通常把容器內氣壓低于正常大氣壓（101325Pa）的都稱之為真空狀態。可以看出，適當粘度的真空泵油不僅可以實現液體潤滑，減少摩擦熱的一代，但也可以及時摩擦熱泵體外。真空泵機組真空度表示處于真空狀態下的氣體稀簿程度，通常用壓力值來表示。實際應用中，真空度通常有真空和相對真空兩種說法。從真空表所讀得的數值稱真空度。真空度數值是表示出系統壓強實際數值低于大氣壓強的數值，從表上表示出來的數值又稱為表壓強，業界也稱為極限相對壓強，即：真空度=大氣壓強-壓強(大氣壓強一般取101325Pa，水環式真空泵極限壓強3300Pa；旋片式真空泵極限壓強約10Pa)工藝要求達到的真空度真空泵的工作壓力應該滿足工藝工作壓力要求，選型時真空度要高于真空設備真空度的半個到一個數量級。(如：真空工藝要求100pa(壓力)的真空度。

　　真空泵油具有良好的防銹和防腐性能，可以在金屬表面形成非常有效的防腐膜，從而防止吸入腐蝕性氣體和水引起的系統腐蝕。真空泵油具有較低的蒸汽壓，以防止油從泵的內腔回流到真空系統并擴散而導致回油。以便確保足夠的極限真空。

　　真空泵油具有極低的蒸汽壓，這是真空泵油重要的性能指標。BUSCH真空泵油具有很好的氧化穩定性，在高溫下不會與空氣、樹脂、化學原料發生反應，真空泵油能減少有害漆膜和油垢形成，提供較長換油周期。蒸汽壓越低，真空度就越高。由于旋片真空泵要求真空度為0.06帕，高要求小于1.33× 10-4帕，真空泵油的蒸發要求極低。通常使用石蠟基窄餾分潤滑油。對于擴散真空泵，也可以使用硅油或其他具有低蒸汽壓的合成油。