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工件變形小。一般來說，被處理的工件在爐內靠熱輻射加熱，內外溫差較小，熱應力小，因此決定了真空熱處理工藝處理的零件變形小，一起在真空下加熱和在真空下淬火，主動完成，避免了熱態下工件在空氣中的搬運，削減了人為加工變形，提高了產品合格率。

可削減工件含金元素揮發性。真空熱處理能在可控氣氛下加熱和真空淬火，從而削減了工件含金元素揮發性，保證了工件的熱處理質量。

熱處理前必須要“5W”現在加工行業的產品訂單生產過程中，較大規模的采購方都有供應商開發管理評估，這方面要求現場考核評審，讓熱處理生產具有可追溯性。熱處理行業零件品質有其特殊性，零件品質只有在使用中或做破壞金相試驗時才能檢驗和檢測，過了應有產品合格時效性，所以筆者覺得要對熱處理管控管理向前移動和向后移動，熱處理前必須要“5W”，任何進入到熱處理工序的工件都要了解清楚：1W：工件什么材質，要進行什么樣熱處理，技術要求是什么。2W：工件將用到什么上去，該工作環境是怎么樣的，側重技術要求是哪個方面，有可能的情況下要積極參與客戶產品開發技術合作項目。3W：工件在進熱處理工序前做了哪些工藝過程。4W：交貨納期是什么時候，畢竟在供應鏈過程中都是要有計劃性的。5W：工件在熱處理過程中要注意哪些工藝流程控制。

熱處理工藝文件包括熱處理工藝卡片和工藝規程兩類，均是為零件的正確熱處理而提出的。工藝卡片內容的設計應包括產品名稱、材料牌號、技術要求、檢驗方法、工序步驟、裝爐方法和裝爐量、工夾具的使用以及采用的設備等，的是熱處理工藝參數的設計，這是工藝卡片的核心所在。而工藝規程是工藝卡片的補充，是反映某一種熱處理方法或操作方法的工藝規程，它詳細規定了進行某種熱處理的操作方法和注意事項。