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發布時間:2020-08-22 16:41  
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凈化車間是為了滿足半導體制造工藝需求的潔凈室,該無塵車間對環境潔凈度、溫濕度控制等都有一定的要求。相對于其他工業潔凈室,集成電路制造無塵車間有面積大、潔凈等級高、溫濕度控制精度高等特點。
根據潔凈室車間空氣循環特點可以將潔凈室分為三種類型:循環空調機配合送風口系統、循環風機配合濕式密封系統和FFU循環系統。

集成電路制造對無塵車間環境的控制有較為嚴格的要求。不同的工藝制程對潔凈度的要求也各不相同,例如光刻要求在1級的微環境下,而化學機械研磨則只要求1000級的環境即可。空氣過濾技術多用于通風及空調進氣系統中,凈化大氣中的粉塵顆粒,使進入室內空氣更為干凈,利用空氣過濾器能捕集亞微米粒子。另外,集成電路制造潔凈廠房對噪聲、微振、照度等都有相關的規定和要求,尤其是振動的控制,在潔凈室的建筑結構設計上就要有所要求。
云南恒云凈化工程有限公司是一家空氣凈化空調設備安裝專業公司。

設計人員在設計時應充分考慮潔凈室的特點,嚴格控制防火分區,使之達到規范要求,我國現行消防技術規范已對潔凈室防火分區提出了明確的要求,規定甲、乙類生產的潔凈室宜為單層,其防火分區很大允許建筑面積,單層廠房宜為3000平方米,多層廠房宜為2000平方米;丙、丁、戊類生產的潔凈室其防火分區很大允許建筑面積應符合現行《建筑設計防火規范》的規定。除此以外,我們還應特別注意潔凈室的頂棚和壁板、潔凈生產區與一般生產區間的隔斷以及技術豎井等部位的防火處理,要求其必須采用不燃燒體材料,且耐火極限要達到相應技術規范的要求。高水平的安徽潔凈車間凈化生產工藝對潔凈室的生產環境要求非常嚴格。

其次,應清潔電子工廠潔凈室的人員清潔工作。空氣淋浴間應安裝在潔凈室的入口。單人空氣淋浴間應由較多人數的30人建立。空氣淋浴間的進出不得同時進行。打開時,應選擇聯鎖控制措施。如穿有外套和攜帶有個人物品,應先脫掉外套、取出個人物品放入一更更衣柜。如果是潔凈室中設備和物料的出入口,則應獨立設置,還應設置貨物淋浴間。如果物料或產品的轉移需要在不同級別的潔凈室中進行,則應建立轉移窗口。