鋁酸鑭(LaAlO3)晶體襯底-品質優選

鋁酸鑭（LaAlO3）具有大的禁帶寬度(5-6eV),高的介電常數值(~25)和很好的熱穩定性使其成為替代Si基jin屬-氧化物-半導體場效應晶體管中SiO2的zui佳替代材料。產品規格：常規尺寸：5x5x0.5mm、10 x 10 x 0.5 mm、dia1″x0.5mm、dia2″x0.5mm ；常規晶向：<100>、<110>、<111>；晶向公差： /-0.5度；拋光情況：單拋或雙拋 （<110> Ra<15A，<100>和<111> Ra<5A）。注：可按照客戶要求加工尺寸及方向。

鋁酸鑭（LaAlO3）晶體的著色主要是原料中的雜質所致,因此,我們在選擇原料時采用高純原料。另外剩余料要限制使用次數,且時刻注意避免原料的污染。鋁酸鑭（LaAlO3）在常溫下結構的空間群為R3c,晶格參數為a=0.5357nm和a=60°6′。

由于大尺寸鋁酸鑭（LaAlO3）晶體生長后熱應力和后期切割、研磨所產生的機械應力較大,加上晶棒的顏色較深。因此要消除上述因素,必須對晶體進行退火處理。

鋁酸鑭(LaAlO3)晶體屬于六方晶系【空間群D3-R3m(166)】,其晶胞參數為:a=5365A,C=13.11A熔點:2080℃。它與YBCO等高溫超導材料的晶格匹配好,介電常數較低(c,=21)微波損耗小因而適于制作高溫超導微波電子器件(如遠程通訊中的高溫超導微波濾波器等)。顏色及外觀：依退火狀況而不同，由棕黃色到褐色，拋光基片有自然孿晶疇；化學穩定性：室溫下不溶于礦物酸，溫度大于150℃時可溶于H3PO4。

鋁酸鑭（LaAlO3）單晶是當前zui重要的工業化、大尺寸高溫超導薄膜基片單晶材料。它用提拉法生長，可以得到直徑2英吋及更大的單晶和基片。鋁酸鑭（LaAlO3）晶體由于與超導、鐵電、錳氧化物巨磁電阻等材料具有良好的晶格匹配性能,且界面層中原子不易和其他材料發生界面反應而被廣泛地用作生長外延薄膜的襯底材料。