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發布時間:2020-12-08 07:44  
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凈化車間內的噪聲級,應符合下列要求:一、動態測試時,凈化車間內的噪聲級不應超過70分貝A。二、空態測試時,亂凈化車間內的噪聲級不宜大于60分貝A;層流凈化車間內的噪聲級不應大于65分貝A。 注:(1)由于技術經濟條件限制,或噪聲大于70分貝A對生產無影響時,噪聲級可適當放寬,但不宜大于75分貝A;(2)上述噪聲級是指在室內每一個工作點人耳位置(人離開)的測量值。對于變動噪聲,則取相同位置處在一個正常工作日內的等效連續聲壓級。a、噪聲頻譜限制,應采用倍頻程聲太級;各頻帶聲壓級值不宜大于1的規定。b、平、剖面布置,應考慮噪聲控制的要求,其圍護結構應有良好的隔聲性能,并宜使各部分隔聲量相接近。c、各種設備均應選用低噪聲產品。對于輻射噪聲超過潔凈室允許值的設備,應設置專用隔聲設施(如隔聲間、隔聲罩等)。d、凈化空氣調節系統噪聲超過允許值時,應采取隔聲、消聲、隔聲振等控制措施。除事故排風外,應對潔凈室內的排風系統進行減噪設計。e、凈化車間的空氣調節系統,根據室內噪聲級的要求,風管內風速宜按下列規定選用:(1)總風管為6~10米/秒。(2)無送、回風口的支風管為6~8米/秒。 (3)有送、回風口的大風管為3~6米/秒。
設計實驗室時應該注意哪些事項:1、實驗室配有空調系統,其風口應采用噴塑或其他處理過的金屬材料制成,化學實驗室一般不設回風口。2、實驗室的照明燈具不宜用金屬制品,若選用金屬燈具需經表面處理,以防止腐蝕。3、各種管線應盡量避免外露,實驗室應簡潔。有條件應設置火災煙霧報警器等。4、安全設施包括消防滅火系統,惰性氣體滅火系統,安全柜,緊急事故淋洗器、洗眼器等。5、供氣設施包括供氣站、供氣板、用氣板及其管路系統等。
凈化工程潔凈室的溫濕度主要是根據您的加工技術請求來斷定,在滿意加工技術的條件下,必選應當思考人的舒適感。隨著空氣潔凈度請求的進步,技術對溫濕度的請求也越來越高,有必要到達必定的溫濕度等級。例如在大規模集成電路生產的光刻曝光技術中,作為掩膜板資料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差請求越來越小。直徑100um的硅片,溫度上升1度,就導致了0.24um線性膨脹,所以有必要有±0.1度的恒溫,一起請求濕度值通常較低,因為人出汗今后,對商品將有污染,特別是怕鈉的半導體車間,這種車間不宜超越25度。