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發布時間：2020-11-17 14:57
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大宗特氣供氣系統介紹
大宗特氣供氣系統主要針對大規模量產的8-12英寸（1英寸=25.4毫米） 超大規模集成電路廠（氣體種類包括SiH4、N2O、2、 C2F6、 NH3等），100MW以上的太陽能電池生產線（氣體種類包括NH3），發光二極管的磊晶工序線（氣體種類包括NH3）、5代以上液晶顯示器工廠（氣體種類包括4、3、NF3）、光纖（氣體種類包括SiCl4）、硅材料外延生產線（氣體種類包括HCL）等行業。在測定放1射性物質時,使用的混合氣有下列幾種組成:含異丁烷0。它們的投資規模巨大，采用1先進的工藝制程設備，用氣需求量大，對穩定和不間斷供應、純度控制和安全生產提出嚴格的要求。
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氦質譜檢漏儀
真空檢漏的方法很多，氦質譜檢漏儀的使用大大提升了檢漏工作效率。
漏孔是指真空器壁上存在的形狀不定、極其微小的空洞或間隙。大氣通過其進入真空系統或容器中；
漏率（漏氣速率）：是指單位時間內通過漏孔或間隙流入到真空系統或容器的氣體量；
1小可檢漏率：是指采用某種檢漏方法或儀器可能檢測出來的1小漏率；
檢漏靈敏度：也叫有效靈敏度，指檢漏儀器在1佳工作狀態下能檢出的1小漏率；
反應時間：也稱響應時間，是指從檢漏方法開始實施（如噴射示漏氣體）到指示方法或儀器指示值上升到其漏孔1大泄漏率的63%時所需要的時間；
消除時間：是指從檢漏方法停止（如停止噴吹示漏氣體）到指示方法或儀器指示值下降到漏孔泄漏率的37%時所需的時間；
漏孔堵塞現象：指由于真空檢漏作業操作不當導致塵埃或液體堵塞漏孔，檢漏時似乎不漏氣，但一經排氣就會出現漏氣的一種現象。
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特種氣體鋼瓶在運輸和儲存的注意事項
由于特種氣體產品的潛在危險性，如氧氣遇油脂著火，氣瓶倒下使閥門拆斷引起飛瓶，惰性氣體引起窒息等等。所以在氣體使用、搬運及儲存中應注意的一些安全事項。
氣體鋼瓶在運輸和裝卸過程中應輕裝輕卸，嚴禁拋、滑、滾及劇烈碰撞。
使用氣體前應按要求將合格的減壓閥連接到氣瓶上，并清潔連接軟管。不同氣體的氣瓶使用時不要使用同一個減壓閥。
不應在封閉空間內用惰性氣體（如氮氣、二氧化碳等）進行實驗分析、燒焊、低溫冷藏、吹除等等。
燒焊時，應對氣體及電氣采取適當的保護措施。不要使用損壞的設備，如軟管、電纜及焊槍等。
特種氣體氣瓶存放區應比較干燥，并有良好通風，嚴禁明火和其它熱源，嚴禁曝曬可燃氣瓶或氧氣瓶附近嚴禁吸煙，氣瓶不應接觸到火花、火焰、熱氣及電路。
在儲存、運輸及使用杜瓦罐時不能使其臥倒，應永遠使杜瓦罐保持直立狀態。
