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發(fā)布時(shí)間:2021-06-17 10:27  
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影響碳化硅坩堝使用壽命的一些因素。
1、坩堝材質(zhì)的化學(xué)成分和物理、化學(xué)特性對坩堝的使用壽命有很大的影響。
2、坩堝容量,感應(yīng)爐坩堝的使用壽命隨其容量的增大而下降。
3、坩堝的工作狀況,連續(xù)冶煉和間歇冶煉對坩堝的使用壽命有很大的影響。
4、坩堝的制作工藝,制作坩堝的各個(gè)環(huán)節(jié)的操作質(zhì)量對坩堝的使用壽命有著重要的影響
坩堝首先原材料是石英和焦炭以及木屑等作為原材料,在電爐中高溫鍛造而成,因此碳化硅又名金剛砂,純凈物為透明無色的一種晶體,如果還有少了的雜質(zhì),就會(huì)呈現(xiàn)出淺黃色或者灰色和灰藍(lán)色。由于碳化硅的緊密結(jié)構(gòu),所以質(zhì)地堅(jiān)硬,硬度僅次于天然的金剛石,可見它的硬度之大。不僅如此,此材質(zhì)的熔點(diǎn)高達(dá)2700攝氏度。用這種材料制作出來的坩堝耐火度大大的提高,單位體積的密度也增大,具有傳熱快,耐酸堿以及抗1氧化性等特點(diǎn)。而且碳化硅坩堝比石墨坩堝的壽命長三到五倍。作為坩堝在生產(chǎn)過程中是必不可少的裝備,其工作效率高低直接影響著產(chǎn)品的生產(chǎn)質(zhì)量。
現(xiàn)代拉單晶的坩堝一般是采用電弧法生產(chǎn),半透明狀,是拉制大直徑單晶硅,發(fā)展大規(guī)模集成電路必不可少的基礎(chǔ)材料。現(xiàn)代的石英坩堝則存在二種結(jié)構(gòu),外側(cè)是一層具有高氣泡密度的區(qū)域,稱為氣泡復(fù)合層,內(nèi)側(cè)則是一層3~5mm的透明層,稱之為氣泡空乏層。氣泡復(fù)合層的目的是在與均勻的輻射有加熱器所提供的輻射熱源。氣泡空乏層的目的在于降低與溶液接觸區(qū)域的氣泡密度,而改善單晶生長的成功率及晶棒品質(zhì)。1、坩堝材質(zhì)的化學(xué)成分和物理、化學(xué)特性對坩堝的使用壽命有很大的影響。
坩堝的生產(chǎn)原料,可概括為三大類型。一是結(jié)晶質(zhì)的天然石墨,二是可塑性的耐火黏土,三是經(jīng)過煅燒的硬質(zhì)高嶺土類骨架熟料。從2008年開始,開始采用耐高溫的合成材料,可直接受熱,加熱后不能驟冷,用坩堝鉗取下,坩堝受熱時(shí)放在泥三角上,蒸發(fā)時(shí)要攪拌;潤福鑫坩堝廠在生產(chǎn)坩堝時(shí)嚴(yán)格按照坩堝國家標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行生產(chǎn)制造,所生產(chǎn)的坩堝型號符合國家標(biāo)準(zhǔn),并且坩堝密度經(jīng)過坩堝廠實(shí)驗(yàn)得出一個(gè)臨界值,這個(gè)臨界的坩堝密度對于坩堝使用壽命是較長的。將近蒸干時(shí)用余熱蒸干,坩堝可分為石墨坩堝、粘土坩堝和金屬坩堝三大類