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半導(dǎo)體廢氣處理設(shè)備

         廢氣介紹：由于半導(dǎo)體工藝對操作室清潔度要求極高，通常使用風(fēng)機(jī)抽取工藝過程中揮發(fā)的各類廢氣，因此半導(dǎo)體行業(yè)廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點。廢氣排放也以揮發(fā)為主。這些廢氣主要可以分為四類：酸性廢氣、堿性廢氣、有機(jī)廢氣和有毒廢氣。

        廢氣危害：半導(dǎo)體制造工藝中產(chǎn)生的廢氣如果沒有經(jīng)過很好的處理進(jìn)行排放，將造成嚴(yán)重的問題，不僅影響人們的身體健康，惡化大氣環(huán)境，造成環(huán)境污染的公害事件等，也會成為半導(dǎo)體制造中AMC污染的重要來源。

        廢氣處理設(shè)備處理方法：依據(jù)這些廢氣的特性，在處理上采用水洗、氧化/燃燒、吸附、解離、冷凝等方法，針對不同污染物，可采取以下綜合處理方法：1.一般排氣系統(tǒng) 2.酸性、堿性廢氣處理系統(tǒng) 3.有機(jī)廢氣處理系統(tǒng)。