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真空泵的分類

按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分為兩種類型，即變容真空泵和動量傳輸泵。

變容真空泵是利用泵腔容積的周期變化來完成吸氣和排氣以達到抽氣目的的真空泵。氣體在排出泵腔前被壓縮。

動量傳輸泵（分子真空泵）依靠高速旋轉的葉片或高速射流，把動量傳輸給氣體或氣體分子，使氣體連續不斷地從泵的入口傳輸到出口。

變容真空泵又分為：往復式，旋轉式（旋片式、滑閥式、液環式、羅茨式、螺旋式、爪形轉子式），其它型式。

螺桿真空泵的原理

螺桿泵是利用齒輪傳動同步反向旋轉的相互嚙合而不接觸的左螺桿與右螺桿作高速轉動，利用泵殼和相互嚙合的螺旋將螺旋槽分隔成多個空間、形成多個級，氣體在相等的各個槽內（柱形等螺距）進行傳輸運動，但無壓縮，只有螺桿末端的螺旋結構對氣體有壓縮作用。螺桿的各級間可形成壓力梯度，以分散壓差和提高壓縮比。各部間隙和泵轉速對泵的性能有很大影響。在設計螺桿各部的間隙時，要考慮膨脹、加工及裝配精度和工作環境（如抽除含粉塵氣體等）。

淺談螺桿真空泵

螺桿轉子是螺桿真空泵中關鍵的抽氣部件，直接決定著泵的工作性能和使用壽命，其加工制造成本約占整個螺桿泵總成本近一半。螺桿轉子的設計與制造則是整個螺桿泵生產中的關鍵技術之一，也是國內各企業開發、研制螺桿真空泵過程中所普遍面臨的技術難題。由于螺桿真空泵螺桿轉子的設計理論尚不夠成熟，且有技術保密因素，致使關于螺桿真空泵轉子設計的公開資料十分稀少。國內不同單位中從事螺桿真空泵開發研制的研究學者和技術人員，大多是從基礎原理出發，開展研究工作，發現和解決開發工作中所遇到的一個個技術難題，制約了國內螺桿真空泵開發生產的速度與水平的提高。