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發(fā)布時間：2021-09-18 22:37
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光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計方案分析：對于常規(guī)電子廠房潔凈室空調(diào)的設(shè)計，應(yīng)根據(jù)電子廠房的生產(chǎn)工藝要求及甲方的經(jīng)濟(jì)條件來選用哪種空調(diào)設(shè)計方案，以滿足生產(chǎn)工藝的要求作為前提。根據(jù)以往經(jīng)驗，對于要求高的可以選用組合式空氣處理機組集中處理的空調(diào)方案;對于要求不高的，又要初投資低的，可以選用柜機 FFU。總之，具體的方案選擇根據(jù)具體情況而定。
潔凈室的管理規(guī)范：
1、進(jìn)入潔凈室的管理，包括對潔凈室工作人員進(jìn)入，物料進(jìn)入，各類設(shè)備的搬入以及相關(guān)的設(shè)備，管線的維護(hù)管理，應(yīng)做到不得將微粒，微生物帶入潔凈室。
2、操作管理技術(shù)，對潔凈室內(nèi)人員用潔凈工作的制作，穿著和其清洗，操作人員的移動和動作，室內(nèi)設(shè)備及裝修材料的選擇和清掃，滅菌等，盡可能減少，防止?jié)崈羰覂?nèi)塵粒，微生物的產(chǎn)生，滯留，繁殖等。
關(guān)于潔凈室等動力采樣的問題：所謂等動力采樣就是在檢測時，粒子的計數(shù)器的采樣管的入口方向與被采樣的單向氣流方向相一致，并且空氣進(jìn)入取樣管入口的平均速度與該位置單向氣流的平均速度相同。由于對凈化工程的檢測咱們主要關(guān)心兩種粒徑，即0.5um和5um。非等動力采樣關(guān)于≤0.5um的粒子影響不大。假如取樣空氣用于計算大于或等于0.5um的粒徑濃度，假如這些粒子不受非等動力條件的影響，則計算結(jié)果也不受影響。
