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發布時間:2020-09-08 18:39  
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激光干涉儀的類型有哪些?
您知道激光干涉儀的類型有哪些嗎?
1、單頻激光干涉儀
從激光器發出的光束,經擴束準直后由分光鏡分為兩路,并分別從固定反射鏡和可動反射鏡反射回來會合在分光鏡上而產生干涉條紋。當可動反射鏡移動時,干涉條紋的光強變化由接受器中的光電轉換元件和電子線路等轉換為電脈沖信號,經放大后輸入可逆計數器計算出總脈沖數,再由電子計算機按計算式式中λ為激光波長(N 為電脈沖總數),算出可動反射鏡的位移量L。使用單頻激光干涉儀時,要求周圍大氣處于穩定狀態,各種空氣湍流都會引起直流電平變化而影響測量結果。因此,在加工過程中進行監測以排除各種因素對尺寸精度的影響便十分重要。
球桿儀使用方法
球桿儀是用于數控機床兩軸聯動精度快速檢測與機床故障分析的一種工具。
它由一安裝在可伸縮的纖維桿內的位移傳感器構成,該傳感器包括兩個線圈和一個可移動的內桿,
其工作原理類同于使用LVDT技術的位移傳感器。
當其長度變化時,內桿移入線圈,感應系數發生變化,檢測電路將電感信號轉變成分辨率為0.1μm位移信號,通過接口傳入PC機。其精度經激光干涉儀檢測達±0.5μm(在20℃)。
球桿儀測量誤差方法研究
隨著科學技術的發展,測量技術和測量工具長足的進步。從原始的目測、步測法到后來的米尺、游標卡尺、千分尺等測量法,再到應變片、電流電壓感應等測量法,電磁相干和相位測量,光柵測量到現在的激光測量。 DBB-Double ball bar)是ISO230-4中所推薦的一種方法。測針有效的碰點的方法正確有效的使用測針來觸測零件時,可以避免掉許多測量上不必要的誤差產生。