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光氧等離子體凈化一體機，等離子體中的離子、電子、受激原子、分子和自由基都是極其活躍的活性物種，這使得反應很難進行或在正常條件下很慢變得很快，它們進一步與污染物分子和離子反應，從而降解污染物，這尤其有利于難降解污染物的處理。

優點:價格低廉。

缺點:運行成本高，凈化率高達40%-50%。

催化燃燒催化技術為污染物的處理提供了獨特的經濟解決方案。催化技術處理有機廢氣具有凈化、能耗低、二氧化碳和水產品無害、無二次污染的優點。

優點:催化凈化效率可達97%以上。這是一種高濃度、小流量的有機廢氣處理技術。

缺點:價格高

催化燃燒凈化法與直接燃燒凈化法一樣，屬于熱破壞法，其機理是氧化和熱裂解，將廢氣中的有機成分熱分解，分解成無害的二氧化碳和水。然而，催化分解通常被認為是處理高濃度有機廢氣的理想方法。其原因是催化燃燒的溫度遠低于比熱燃燒，具有、能耗低、壓降小、所需設備體積小、成本低、不產生氮氧化物等優點。

有機廢氣在風扇的吸引作用下進入催化燃燒系統。首先，有機廢氣中的顆粒通過干式過濾器(標準)過濾。有機廢氣進入活性炭吸附箱。廢氣分子被活性炭吸附和濃縮。潔凈空氣進入煙囪，實現高空排放。當活性炭趨于飽和時，啟動爐對催化劑和爐內空氣進行加熱，熱風經供氣閥調溫后接入活性炭吸附箱對活性炭進行脫附，脫附的高濃度廢氣分子在催化劑的作用下進入爐進行無焰燃燒，實現高溫氧化分解，將二氧化碳和水蒸氣終生排入煙囪；部分高溫氣體繼續從吸附箱中解吸，從而循環。

催化燃燒處理廣泛應用于石油、化工、橡膠、油漆、印刷等行業車間排放的有害有機廢氣的凈化。苯、乙醇、等有機廢氣可以凈化。該裝置系統設計完整，配套設備齊全，凈化，自動化程度高。它能有效凈化車間環境，消除污染，改善工作條件，保障工人健康，解決二次污染。適用于濃度低(50~1000ppm)且回收經濟價值小的有機廢氣，不適用于吸附回收處理，特別是空氣量大的處理場合。處理風量大、廢氣濃度低等特點，當濃度稍高時，還可以進行二次余熱回收，大大降低生產和運行成本。

可燃材料在催化劑的作用下燃燒。與直接燃燒相比，催化燃燒溫度低，燃燒完全。用于催化燃燒的催化劑是和金屬氧化物的多組分物質，具有大的比表面積。例如，裝有鈀或稀土化合物的家用催化燃氣灶可降低尾氣中的含量并提高熱效率。負載0.2%pt的氧化鋁催化劑能在500℃下燃燒大部分有機化合物，除臭和凈化至化移σ=1或更小。催化燃燒是無焰燃燒，因此適用于安全性要求高的場合，如以H2和O2為原料的燃料電池、以或酒精為原料的袖珍爐(催化劑為浸漬鉑的石棉)等。例如，為了消除化工廠中的氮氧化物煙霧，可以向煙霧中加入燃料，氮氧化物可以通過負載鉑和鈀催化劑的催化燃燒轉化為N2氣體。一種燃燒方法，其中有害氣體中的可燃物質通過使用合適的催化劑在較低的溫度下分解和氧化。根據燃燒溫度和輔助介質的不同，燃燒方法主要分為直接燃燒法和直接燃燒法。添加輔助燃料并與廢氣一起送入焚燒爐燃燒。直接燃燒工藝成熟，在一定溫度條件下污染物去除率高。