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手套箱

手套箱簡介

手套箱是將高純惰性氣體充入箱體內，并循環過濾掉其中的活性物質的實驗室設備。也稱真空手套箱、惰性氣體保護箱等。主要功能在于對O2，H2O，有機氣體的清除。

廣泛應用于無水、無氧、無塵的超純環境，如：鋰離子電池及材料、半導體、超級電容、特種燈、激光焊接、釬焊、材料合成、OLED、MOCVD等。也包括生物方面應用，如細胞低氧培養等。

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結構原理

手套箱結構原理

主要由主箱體、過渡室兩部分組成。如用戶有其它特殊要求，也可以根據需要進行設計制造。

主箱體上有兩個（或兩個以上）手套操作接口，分布在箱體的前邊（或前后兩邊），這使得本操作箱能被一個（或幾個）人同時操作，提高了箱體的使用效率。另外，在箱體的前面（或前后）都有觀察窗，操作者能夠清楚地觀察到箱體內的操作過程，使得操作過程直觀地展現在操作者的眼前。過渡室的閥門上有抽氣與充氣接嘴，在需要抽氣或充氣時可由此接入。手套箱操作步驟將物件放入與取出主箱體的方法：1、將物件放入主箱體的方法：當您完成“抽真空與充氣”的操作后，如需要放物件放入主箱體，請先將過渡室的內門關上，打開過渡室的外門，將物件放入，然后關上外門，利用過渡室上的二個閥門進行抽氣和充氣。主箱體上也安裝有閥門和接嘴，用戶在需要維持氣壓平衡而對主箱體放氣或充氣時可以使用（手套口之間的三通閥必要時也可以用來放氣）。主箱體的前觀察窗上方安裝了照明日光燈。

真空熱蒸發鍍膜工藝

OLED器 件需要在高真空腔室中蒸鍍多層有機薄膜和金屬電極，薄膜的質量關系到器件質量和壽命。在有機真空腔室中設有多個放置有機材料的蒸發舟，加熱蒸發舟蒸鍍有機 材料；在金屬真空腔室中設有多個放置金屬電極的蒸發舟，金屬蒸發舟常采用鉬、鉭和鎢等材料制作，電極材料有Mg/Ag、Mg:Ag/Ag、Li/Al、 LiF /Al等，通常是使用低功函數的活潑金屬。檢查手套是否破損，特別是手指頭上，工作時請戴布手套以免在手套內產生水氣。ITO玻璃基板放置在可加熱的旋轉樣品托架上，其下面放置的金屬掩膜板控制蒸鍍圖案，并利用石英晶體振蕩器來控 制膜厚。

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