氣體質量流量控制器價格誠信企業「多圖」

質量流量控制器簡介

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使用范圍： 質量流量控制器廣泛應用于半導體制造、真空鍍膜、分析、化工、環境等 行業的氣流測量與控制。

特點：流量精度高、線性好、零漂小、氣流響應速度快、過沖小。

流量控制器的工作原理

流量控制器（流量計）利用流動流體傳遞熱量改變測量毛細管壁溫度分布的熱傳導分布效應而制成，即熱分布式流量計（Thermal Profile Flowmeter）。 采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質量流量，可以不受溫度壓力的影響。將傳感器測得的流量信號進行放大，然后與設定的電壓進行比較，用所得的差值信號放大去驅動控制調節閥門。通過實時的流量檢測閉環，去控制流過通道的流量使之與設定的流量相等。

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質量流量計概述

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主要特點

1. 適用多種介質

2. 測量準確度高

3. 無直管段要求

4. 可靠性好

5. 維修率低

6. 具有核心處理器

主要分類

質量流量計可分為兩類：一類是直接式，即直接輸出質量流量；另質量流量計一類為間接式或推導式，如應用超聲流量計和密度計組合，對它們的輸出再進行乘法運算以得出質量流量。