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發布時間:2021-09-03 03:58  
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特種氣體輸送管道系統的施工管理
超凈的氣體輸送管道系統,是指具有超凈化要求的輸送高純氣體、摻雜氣體的管道系統,廣泛應用于集成電路器件生產、太陽能光伏電池生產PDF顯示器面板生產等微電子領域,特種氣體指出,該系統輸送的氣體主要有高純大宗氣體(高純氧、高純氫、高純氦、高純氫等氣體)、特氣(、磷烷、烷、、等工藝氣體),以上氣體在下文中簡稱“超凈氣體”。隨著微電子工業的不斷發展,特別是超大規模集成電路制造的晶圓尺寸不斷增大,線寬尺寸從微米級進人到亞微米(小于1um)級以及深亞微米(小于0.18um)級,這樣,對半導體制造工藝中的超凈氣體的品質要求越來越高,對這些氣體中微粒、雜質及控制要求極為嚴格,已達到ppb、ppt級,塵埃粒徑要求控制小于0.1um的微粒,因此對超凈氣體的輸送管路系統的潔凈度提出了非常高的要求。特種氣體指出,工藝氣體中的雜質對半導體制造的整個過程都有影響。如高溫處理中,重金屬微粒向硅的內部侵人擴散,誘發結晶缺陷,是導致半導體器件特性裂化的原因。腐蝕工序中,由于微粒附著在硅片處,將導致接觸部分和周圍的腐蝕加工精度降低。
熱處理工序中,堿金屬微粒使氧化膜與硅的界面特性產生異常,引起耐壓性差或電氣特性劣化。特種氣體指出,由于一旦該氣體輸送管道發生污染,將很難通過吹掃清除污染物,往往是更換掉被污染的管路,由于該系統造價昂貴,這樣造成的損失將很大,因此,超凈氣體管道系統潔凈度的要求甚至比對其純度的要求在某種程度上顯得更為重要。

2018年中國特種氣體行業市場下游需求總體保持穩定
我國特種氣體市場需求格局
1 煉油行業產能過剩 影響對特種氣體需求
我國煉油工業立足于滿足市場需求,并在2008年“油荒”后煉能增速有所加快,產能增長2億噸/年,使成品油市場保持供大于求的態勢。2015年,我國年石油加工及煉焦業城鎮固定資產投資規模大幅下降至2538.60億元,2016年略有回升,根據前瞻產業研究院發布的《2018-2023年中國特種氣體行業產銷需求與投資預測分析報告》初步估算,2017年投資額再次下降為2688.34億元。
未來我國將收緊對大煉油項目的審批,控制產能擴張,優化區域布局,全國煉油能力控制在與市場需求匹配略寬松的總量,進一步化解煉油能力結構性過剩的問題;著重科學引導地煉發展模式,順應我國煉油業發展趨勢,積極進行產業升級,而不是單純的擴張產能,這在一定程度上將影響煉油行業對特種氣體的需求。

工業氣體的使用和存放如何做好保障?
工業氣體種類繁多,經常用于各種工業制造方面。而在存放和使用方面,因為都是通過壓縮來處理的,所以對于它們的安全保障措施一定要做好。
首先在使用之前要做好檢查工作,對于氣瓶應該進行狀況檢測,包括外觀、安全附件、使用年限和檢驗標志等等。在存放時,還要注意檢查檢驗日期,鋼印和有效期等,工業氣瓶的防震圈也是要查看的,至少保證無裂痕。
存放時,因為工業氣體一般都具有、有毒等特性,所以存放場所應該有一定的防護措施,夏季要防止暴曬,室外要注意這樣和遮雨,可以使用倉庫。對于存放空間里的照明燈具等要具有防爆特性,電源開關和熔斷器等應該設置的室外,同時要安裝避雷設施。
工業氣體存放場所要通風、干燥,避免雨淋日曬,嚴禁明火和其他熱源,不能有任何管線通過。
