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真空泵轉子與靜止件軸向摩擦的振動機理

  理論研究和試驗表明，轉子與精致件發生軸向摩擦時，真空泵轉子的振動特征幾乎與正常狀況一致，沒有明顯的異常特征，所以診斷軸向摩擦時，不能用波形、軸心軌跡和頻譜方法去識別，必須尋求新的銘感參數。

  真空泵軸向干摩擦力與旋轉速度有關，由于軸向干摩擦的作用使基頻影響相對下降，同時有高頻成分出現，所以軸向干摩擦具有阻尼的特性。軸向干摩擦力的打小正比于轉子與靜止間的干摩擦因數和軸向力。軸向干摩擦阻尼遠大于徑向摩擦

阻尼，由于軸向干摩擦會引起系統阻尼的顯著增加，因此系統阻尼的變化可作為軸向摩擦的識別特征。

  另外，摩擦會造成成功耗上升和效率下降，同時局部會有溫升，因此工藝參數對轉子與靜止件軸向摩擦的故障診斷非常重要

半導體加工我們繼續革新技術解決方案，這些解決方案將會提升制程正常運轉時間、產量、吞吐量與安全認證水平，同時通過減輕不利于環境的排放、延長產品使用壽命并降低持續服務成本，努力協調平衡往往相互沖突的更低擁有成本要求。

所有居于地位的制程工具 OEM，以及全球每一家主要半導體工廠都采用了我們的系統，因為它們能夠滿足成熟制程與發展中制程的具體要求。提供干式真空泵、渦輪分子泵與使用點減排系統等各種系統，用來優化從輕負荷制程到超重負荷制程的各項應用的性能表現。 平版印刷平版印刷（即晶圓的圖案形成）是半導體 制程中的一個關鍵步驟。雖然傳統甚至浸潤式平版印刷 一般不需要真空環境，但遠紫外 (EUV) 平版印刷和電子束平版印刷卻需要真空 泵。Edward可以讓您有效應對這兩種應用。5、供應進口真空泵油，進口真空泵，原廠真空泵配件，真空泵維修保養，真空系統定做與設計。

EUV 平版印刷泵送解決方案

多重圖案形成技術有其存在的價值， 但以后可能需要使用 EUV 平版印刷，因為輕型 EUV 系統 提供極短的波長。要讓您的系統具有 性能，真空環境是關鍵。真空系統的 清潔性尤其重要，它有助于延長維修間隔。我們 與 EUV 平版印刷 OEM 和光源 OEM 合作開發了 精密真空系統，可為您進行的大型投資提供 可靠性。油中的氧化劑可讓泵承受較高工作溫度而不會造成油的退化，從而延長換油時間間隔。

電子束平版印刷解決方案

電子束平版印刷在硅晶片的圖案形成中 具有重要作用。低振動的清潔真空對于確保系統的精密性 和長正常運行時間至關重要。

我們的產品解決方案

您可能需要使用渦輪分子泵 (TMP) 以便 在您的制程工具上實現超高真空。我們的 STP 系列 TMP 采用 完全磁懸浮轉子以降低艙室污染風險并延長 維修間隔。目前開發的產品通過將控制器集成到 泵本身中來降低總成本和占地面積，不再需要 外部控制器和控制器與泵之間的沉重控制 電纜。低振動的清潔真空對于確保系統的精密性和長正常運行時間至關重要。

愛德華70#真空泵油應用：

   真空泵油適用于往復式增壓泵、機械增壓泵和油封機械真空泵等使用，亦可用于各種擴散真空泵等。推薦用于工藝品、陶瓷、化學等領域的真空泵使用。

供應英國愛德華19號真空泵油，質量保證規格4L /208L現貨，愛德華真空泵油用于E2M175/275/80/40,油式旋片泵，看真空泵型號選用油號對用，因為真空泵油粘度不一樣。

在真空泵機組定期一切換過程中，多次發生過類似異常。在備用真空泵機組啟動、原運行泵停運后。凝汽器真空便開始緩慢下降，約15~30min后可下降5~6kPa，在此過程中，發現氣水分離器內處于負壓狀態，這是一種異常現象。好凱德真空科技分析認為，真空泵機組工作不正常，導致噴射器抽吸力降低，使得凝汽器真空下滑。如德國BUSCH普旭、德國Becker貝克、德國Rietschle偉力/里其樂、德國天津Leybold萊寶、法國ALCATEL阿爾卡特、英國Edward愛德華、日本ULVAC愛發科，日本Orion好利旺等品牌。