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考慮到表面粗糙度測量的膜厚值[FE-0007]

當樣品表面存在粗糙度（粗糙度）時，將表面粗糙度和空氣（air）及膜厚材料以1：1的比例混合,模擬為“粗糙層”，可以分析粗糙度和膜厚度。此處示例了測量表面粗糙度為幾nm的SiN（氮化硅）的情況。

1.膜厚測試儀出現下列情況，必需重新校準。　　·校準時，輸入了一個錯誤值；　　·操作錯誤。　　2.在直接方式下，如果輸入了錯誤的校準值，應緊接著做一次測量，隨后再做一次校準，即可獲取新值消除錯誤值。　　3.每一組單元中，只能有一個校準值。　　4.零點校準和二點校準都可以重復多次，以獲得更為精準的校準值，提高測量精度但此過程中一旦有過一次測量，則校準過程便告結束。

膜厚測試儀波譜校準 　　不關機狀態下每日必做一次或每次關機3小時以上再次重開機必做，目的讓儀器進行自我補償調整。首先點擊任務欄中的“波譜校準”，然后將波譜校準片放入儀器，將Cu-Ag合金部分移至十字線中間，鐳射聚焦，測量（點擊Go鍵）。待膜厚測試儀器自動完成每一步，紅色STOP鍵會轉變成綠色GO鍵后，將純Ag部分移至十字線中間，鐳射聚焦，測量（點擊Go鍵），完成后出現“波譜校準成功”字樣的對話框時，點擊“確定”即可。