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發布時間:2021-01-19 17:05  
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X射線測厚儀結構
一六 熒光測厚儀 十年以上研發團隊 集研發生產銷售一體
元素分析范圍:氯(CI)- 鈾(U) 厚度分析范圍:各種元素及有機物
一次可同時分析:23層鍍層,24種元素 厚度檢出限:0.005um
(一)、外部結構原理圖
X熒光做鍍層分析時,根據射線是至上而下照射樣品,還是至下而上照射樣品的方式,將X熒光分析儀的外部整體結構分為:上照射和下照射兩種結構。
(二)、各種外部結構的特點
1、上照射方式
用于照射(激發)的X射線是采用由上往下照射方式的設備稱為上照射儀器。此類設備的Z軸為可移動方式,用于確定射線照射光斑的焦點,確保測量的準確性。
①、Z軸的移動方式
根據Z軸的移動方式,分為自動和手動兩類;
自動型的設備完全由程序與自動控制裝置實現,其光斑對焦的重現性與準確度都很高,而且使用非常簡便(一般是與圖像采集系統與控制系統相結合的方式),一般只需要用鼠標在圖像上點擊一下即可定位。此類設備對于測試形狀各異的樣品非常方便,也是目前主流的分析設備類型。對于樣品可進行連續多點測量,適合分析鍍層的厚度分布情況,并可以對樣品的復雜面進行測量。
手動型設備,一般需要用人觀察圖像的方式,根據參考斑點的位置,手動上下調節Z軸方向,以達到準確對焦的目的。因此,往往在測試對象幾何結構基本上沒有變化的情況下使用比較快捷。
②、X、Y軸水平移動方式
水平移動方式一般分為:無X、Y軸移動裝置;手動X、Y軸移動裝置;電動X、Y軸移動裝置;全程控自動X、Y軸移動裝置。
這幾類的設備都是根據客戶實際需要而設計的,例如:使用無X、Y軸移動裝置的也很多,結構簡單,樣品水平移動完全靠手動移動,這種設備適合于樣品面積較大,定位比較容易的測試對象。





江蘇一六儀器 X射線熒光測厚儀工作原理
當原子受到X射線光子(原級X射線)或其他微觀粒子的激發使原子內層電子電離而出現空位,原子內層電子重新配位,較外層的電子躍遷到內層電子空位,并同時出次級X射線光子,此即X射線熒光。較外層電子躍遷到內層電子空位所釋放的能量等于兩電子能級的能量差,因此,X射線熒光的波長對不同元素是特征的,根據元素X射線熒光特征波長對元素做定性分析,根據元素釋放出來的熒光強度,來進行定量分析如元素厚度或含量分析。當軟芯上繞著線圈的測頭放在被測樣本上時,儀器自動輸出測試電流或測試信號。
根據色散方式不同,X射線熒光分析儀相應分為X射線熒光光譜儀(波長色散)和X射線熒光能譜儀(能量色散)。X射線熒光光譜儀主要由激發、色散、探測、記錄及數據處理等單元組成。激發單元的作用是產生初級X射線。它由高壓發生器和X光管組成。后者功率較大,用水和油同時冷卻。色散單元的作用是分出想要波長的X射線。它由樣品室、狹縫、測角儀、分析晶體等部分組成。這個方法在完全了解樣品的構成和元素種類前提,利用計算的各個熒光X射線強度的理論值,推測測定得到未知樣品各個元素的熒光X射線強度的組成一致。通過測角器以1∶2速度轉動分析晶體和探測器,可在不同的布拉格角位置上測得不同波長的X射線而作元素的定性分析。探測器的作用是將X射線光子能量轉化為電能,常用的有蓋格計數管、正比計數管、閃爍計數管、半導體探測器等。記錄單元由放大器、脈沖幅度分析器、顯示部分組成。通過定標器的脈沖分析信號可以直接輸入計算機,進行聯機處理而得到被測元素的含量。
江蘇一六儀器 X熒光光譜測厚儀 優點
X射線熒光能譜儀沒有復雜的分光系統,結構簡單。X射線激發源可用X射線發生器,也可用性同位素。能量色散用脈沖幅度分析器。探測器和記錄等與X射線熒光光譜儀相同。
X射線熒光光譜儀和X射線熒光能譜儀各有優缺點。前者分辨率高,對輕、重元素測定的適應性廣。對高低含量的元素測定靈敏度均能滿足要求。后者的X射線探測的幾何效率可提高2~3數量級,靈敏度高。價格一直是客戶在購買時關心的問題,好質量和售后服務的產品在價格上面往往比較高,所以客戶在選擇產品時選擇性價比高的就需要一定的了解,首先是品牌,其次是客戶調查,售后服務等。可以對能量范圍很寬的X射線同時進行能量分辨(定性分析)和定量測定。對于能量小于2萬電子伏特左右的能譜的分辨率差。
