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可由三甲基氯硅烷與NH3反應來制取。用作氣相法白炭黑表面疏水處理劑及有機合成反應中提供N原子的試劑，還可用作碳化硅纖維的助劑，提高碳化硅纖維的耐熱性和強度，還可用作涂料的防沉淀劑。并用于制備有機硅化合物。

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礦業

可用于硅藻土、白炭黑、鈦等粉末的表面處理，其作用機理是以硅氮鍵與硅羥基縮合。

在半導體工業中用作光致刻蝕劑的粘結助劑。

在有機硅氮烷化學中，可以用作與氯硅烷單體進行氯交換，從而獲得聚硅氮烷。這種方法比直接通氨法在合成上有巨大優勢。

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熱穩定性好，溫和條件下水解又易于制備，故常用于保護羥基、羰基或者作為衍生物講行質譜或氣相色譜分析。硅烯醇醚(silylenol ethers)，在有機合成中有很多用途。

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