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發布時間:2021-01-08 02:18  
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質量流量控制器簡介
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使用范圍: 質量流量控制器廣泛應用于半導體制造、真空鍍膜、分析、化工、環境等 行業的氣流測量與控制。
特點:流量精度高、線性好、零漂小、氣流響應速度快、過沖小。
質量流量計簡介
質量流量:
以單位時間內流過某截面的流體質量表示的流量。氣體質量流量一般將其換算成標準狀態下的 體積/分鐘 來表示。例如:毫升/分鐘即 mL/min (SCCM行業標準), 升/分鐘即 L/min (SLM行業標準). 標準狀態為:氣體溫度—— 273.15K (0℃); 氣壓——101325Pa(1atm)
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質量流量計概述
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主要特點
1. 適用多種介質
2. 測量準確度高
3. 無直管段要求
4. 可靠性好
5. 維修率低
6. 具有核心處理器
主要分類
質量流量計可分為兩類:一類是直接式,即直接輸出質量流量;另質量流量計一類為間接式或推導式,如應用超聲流量計和密度計組合,對它們的輸出再進行乘法運算以得出質量流量。
MFC質量流量控制簡介
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MFC為Mass Flow Controller的縮寫,即質量流量控制。流體在旋轉的管內流動時會對管壁產生一個力,它是科里奧利在1832年研究水輪機時發現的,簡稱科氏力。質量流量計以科氏力為基礎,在傳感器內部有兩根平行的T型振管,中部裝有驅動線圈,兩端裝有拾振線圈,變送器提供的激勵電壓加到驅動線圈上時,振動管作往復周期振動,工業過程的流體介質流經傳感器的振動管,就會在振管上產生科氏力效應,使兩根振管扭轉振動,安裝在振管兩端的拾振線圈將產生相位不同的兩組信號,這兩個信號差與流經傳感器的流體質量流量成比例關系。計算機解算出流經振管的質量流量。不同的介質流經傳感器時,振管的主振頻率不同,據此解算出介質密度。安裝在傳感器器振管上的鉑電阻可間接測量介質的溫度。