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發布時間：2021-09-18 20:58
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工業氣體種類比較多，但大致可以分為兩類，一類是一般工業氣體，另一類是特種工業氣體。據介紹說，這兩種工業氣體相比較而言，一般工業氣體產銷量大,但對純度要求不高；特種氣體產銷量雖小,但根據不同的用途,對不同特種氣體的純度或組成，以及有害雜質允許的高含量，產品的包裝貯運等都有極其嚴格的要求,屬于高技術、高附加值產品。
工業氣體作為現代工業重要的基礎原料,應用范圍十分廣泛,在冶金、鋼鐵、石油、化工、機械、電子、玻璃、陶瓷、建材、建筑、食品加工、等部門,均使用大量的常用工業氣體或特種工業氣體，因為氣體產品的應用覆蓋面大,一般將氣體的生產和供應與供電、供水一樣,作為工業投資環境的基礎設施,被視為國民經濟命脈而被列為公用事業行業。
二、有毒氣體,半導體氣體很多是對人體有害有毒,如PH3、ASH3、B2H6、CLF3、SIH2CL2、SIHCL3等；
三、助燃氣體,這些高純氣體自身不能燃燒,但若與可燃物、可燃氣體接觸,將幫助燃燒,應在儲運使用中們加注意,如o2n2of2hf等窒息性氣體；
四、還有氣體性質穩定,也無毒性,但當它們排放在不通風的場所時,空氣中氧含量降到18%以下時,因缺氧會使人呼吸困難，若不能及時解救也會有危險甚至，這類氣體有氮氣、氬氣二氧化碳、氦氣等。
五、腐蝕性氣體，通常遇水就顯示其腐蝕性，如hcl、pocl3、hf等。許多氣體同時兼有多種性質，在這些氣體輸送、儲運、使用中應予重視。
半導體生產用高純氣體不僅種類多，而且更重要的是對氣體品質在很嚴格的要求。
電子氣體的應用及類別！
自從半導體問世以來,高純度電子氣體的可靠供應在電子行業是至關重要的。首先通過不同的氣體流把雜質原子引入到半導體材料來生產個別半導體元件,然后加以混合,再送進名為外延生長過程的反應容器中。
在制造集成電路的過程中,超過30種不同的電子氣體被用于蝕刻沉積氧化摻雜,和惰性保護的應用。現代晶片電路的嚴格要求規定,百萬份數十億份甚至萬億份的水平的微量雜質將導致重大的缺陷,并由于高廢品率導致成本增加。
一個典型的半導體生產廠的輔助設施提供包括以下幾類電子氣體：
?氮氣通常利用分離空氣在現場生產。它被廣泛使用在許多過程中作為提供惰性環境或一個過程完成后的反應氣體。
?氧氣也可以在現場生產或以低溫液體交付。它使用于把硅氧化-是所有半導體制造中關鍵的過程之一。
?氬通常以低溫液體交付，并用于為金屬的濺射沉積提供惰性環境，因為氮氣的反應性高而導致形成金屬氮化物。
?氫氣可以在現場生產、以低溫液體或壓縮氣體交付-這取決于消耗速率。它是用于為金屬膜進行退火時提供一種還原環境。
