電子束鍍膜機報價詢問報價「在線咨詢」

電子束操作及注意事項

①電子槍工作前必須檢查水流是否正常，工作過程中務必保證水壓、水流量指示，否則將造成坩堝損壞。?

②電子槍起動真空度6.7×10-3Pa。?

③蒸發前電子槍的陰極燈絲應預熱，預熱電流為0.6A，預熱時間新陰極5分鐘以上（應緩慢調至0.6A，以防陰極變形），舊陰極2分鐘即可。?

④蒸發前對材料先預熱除氣。?

⑤蒸發完后，按下列順序關閉高壓電源：關蒸發檔板→關閉高壓→燈絲電源調至預熱0.6A的位置→關閉束流調節電源并調至低位置→關閉磁場電源，工作時操作順序與此順序相反。?

⑥電子槍燈絲停止加熱后，要停留10分鐘以上才能向蒸發室放氣

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電子束鍍膜機介紹

* 帶旋轉的傾斜沉積

* 行星式基片夾具

* 基片RF/DC偏壓

* 基片清洗的離子源以及離子輔助蒸鍍

* 附加物理沉積源（熱蒸鍍，磁控濺射）

* 用于反應蒸鍍的MFC

* 不同的泵組選擇，可升級分子泵為冷泵，前級泵為干泵

* 進樣室和自動上下片/可支持單片和25片片夾

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電子束蒸發鍍膜設備簡介

沈陽鵬程真空技術有限責任公司專業生產、銷售電子束，我們為您分析該產品的以下信息。

高真空電子束蒸發鍍膜設備采用完全封閉的系統框架，結構緊湊，外觀更漂亮，使用更安全。6-10KW e型電子槍可選國產或進口，可選配離子束清洗及輔助鍍膜功能。如果您對電子束產品感興趣，歡迎點擊左右兩側的在線客服，或撥打咨詢電話。該設備廣泛應用于科研院所、高校在片狀、半球狀、異形基底表面制備金屬/化合物（ITO等氧化物）/導電薄膜/光學薄膜等。