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1、油霧濾清器（油霧分離器,排氣過濾器,排氣濾芯).濾材制成，壓差為0.3bar,殘油量為1-3ppm,耐靜電防腐蝕。

進口真空泵油霧分離器在推動力的作用下，位于一側的油氣混合物中的通過真空泵油霧分離器的濾紙及棉質。油則被截留，從而實現氣體與真空油的分離操作過程。被過濾掉的真空泵油隨著回油管進行循環利用，排出的則是無油的廢氣，而達到無污染，潔凈的效果。

2、空氣過濾器（空氣濾芯）：容灰量高,過濾效果佳,能耗低。

進口真空泵的滑動的空隙很小，外來的介質含顆粒、污垢，會破壞滑動面，豁附或阻塞泵的滑動面，造成泵不能正常工作。為了防止外來物被入泵中，需要使用過濾器來阻擋其進入泵中。萬一有空氣雜質沒有過濾清掉，進入泵浦內，可能導致油管堵塞,潤滑油變混，所以選擇空氣濾芯，必須要選擇進口的。

2、疲勞破斷

疲勞是一種失效機理，產生裂紋是一種失效模式。它們常常后導致零件的破斷。這種疲勞破斷失效過程一般都存在于受交變負荷的輪齒件中。常見于聯接螺栓、地腳螺栓、彈簧等零件，也會發生齒輪傳動軸等重要零件中。疲勞破斷所牽涉的因素很多，需要針對失效零件作具體分析，找出原因采取對策。

3、變形

變形也是真空泵零件常見的一種失效模式。由于泵浦在高速運行時會產生一定的高溫。諸如殼體、板件等常處于受熱狀態，易發生。逐步產生的塑性變形，不能恢復零部件原有的幾何尺寸與形狀，嚴重時將造成設備故障。如密封圈，油封等。

1、直線a:為平行于橫坐標的直線，壓強隨時間的延長不變，表示容器既不漏氣也不放氣，真空度上不去是由于泵的工作情況不良所致。

2、曲線b:壓始上升較快，而后上升速度減慢，后趨于平衡。表示容器沒有漏氣而是爐襯材料放氣。

3、曲線c:壓強隨時間的延長成線性增長，表示容器漏氣而爐襯材料不放氣。

4、曲線d:壓始上升較快，隨后減慢，后形成斜率為ΔP/ΔT的直線，說明容器既有漏氣又有放氣。

管道積水水環真空泵與蒸汽凝氣器相連通。一方面，水環真空泵在運行過程當中，很容易因水汽分離設備存在工作漏洞，造成管道內產生水汽積流；另一方面，待水環真空泵停止運轉時，由于水汽凝結，也會形成積水。隨著積水次數增多，會造成水倒流回真空泵內，短時間內形成較大電壓，容易燒毀電機。

為了避免出現這種危害，應該定時對水環真空泵的使用情況進行檢查，重點檢查進出氣管道中是否存在積水，如果發現，要及時清理。

為了防患于未然，還要改造水環真空泵的水氣分離器，可以采用具有更高耐磨性和耐腐蝕性的鋼材，或者加粗水氣分離器管筒的直徑，使水氣分離能夠在足夠的空間內進行，從而使水蒸氣積流大大減少，避免積水故障。