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              非標定制真空腔體廠歡迎來電 沈陽鵬程公司

              發(fā)布時間:2021-09-03 19:59  

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              真空腔體產(chǎn)品特點

              沈陽鵬程真空技術有限責任公司——專業(yè)真空腔體供應商,我們?yōu)槟鷰硪韵滦畔ⅰ?

              1.真空環(huán)境使用,高低溫真空環(huán)境使用;采用不銹鋼,鋁,陶瓷等出氣率低的材料制作;

              2.標準化設計,可根據(jù)客人要求定制不同形狀與使用環(huán)境腔體;

              3.氦氣檢漏,保壓老化,達到客戶的要求。

              應用范圍:軍類單位,大專院校,科研院所,航空航天,生物制藥,微電子,新能源,新材料等等。



              真空腔體的主要作用

              以下是沈陽鵬程真空技術有限責任公司為您一起分享的內容,沈陽鵬程真空技術有限責任公司專業(yè)生產(chǎn)真空腔體,歡迎新老客戶蒞臨。

              真空腔體是保持內部為真空狀態(tài)的容器,真空腔體的制作要考慮容積、材質和形狀。不銹鋼是目前超高真空系統(tǒng)的主要結構材料。其中300系列不銹鋼(表1)是含Cr10%——20%的低碳鋼,具有優(yōu)良的抗腐蝕性、放氣率低、無磁性、焊接性好、導電率和導熱率低、能夠在-270——900℃工作等優(yōu)點,在高真空和超高真空系統(tǒng)中,應用廣泛。




              真空腔體烘烤注意事項

              真空腔體烘烤時的真空度變化結果,烘烤采用纏繞加熱帶的方式。當真空度達到約10-3 Pa時,開始給加熱帶逐漸通電加熱,保持腔體在150℃下進行長時間烘烤。烘烤過程中關閉離子泵,同時也給離子泵通電進行加熱烘烤,這時的真空腔體只靠分子泵和前級泵來排氣。隨著腔體溫度的升高,腔體內表面吸附的水蒸氣等氣體分子大量放出,真空度會迅速惡化。氣體的放出量隨著烘烤時間的延長而逐漸減少,因此真空度也逐步好轉。停止烘烤時,切斷加熱帶和離子泵的烘烤電源,然后趁腔體仍處在高溫的狀態(tài)下對鈦升華泵進行除氣處理。鈦升華泵的除氣處理是指給Ti絲通電加熱,但又控制溫度在Ti升華溫度之下的操作。鈦升華泵除氣處理的目的是清除吸附在Ti絲表面的氣體分子以及其他可能的污染物,以確保鈦升華泵的正常工作。充分完成鈦升華泵的除氣處理之后,啟動離子泵和鈦升華泵,加大真空排氣的力度。隨著排氣力度的增大和由于腔體溫度降低而放出氣體的減少,系統(tǒng)的真空度會迅速好轉。

              新完成的腔體一次烘烤時,一般需要一周時間,重復烘烤后單獨的烘烤時間可以適當減少。為了更準確地測量真空度,停止烘烤后也應該對真空計進行除氣處理。如果真空泵能力充分而且烘烤時間充足的話,烘烤后真空度可提升幾個數(shù)量級。



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