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發(fā)布時(shí)間：2021-09-07 20:42
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長(zhǎng)方形一體成型腔室
超高真空(UHV)是一門精密技術(shù)的藝術(shù)，各種鍍膜、檢測(cè)分析、量測(cè)、及其他實(shí)驗(yàn)皆可根據(jù)需求整合在一個(gè)或多個(gè)的超高真空(UHV)腔體(箱體)，或以超高真空傳輸系統(tǒng)進(jìn)行鏈接，Htc日揚(yáng)真空在超高真空(UHV)腔體(箱體)制作擁有豐富經(jīng)驗(yàn)及技術(shù)。我們根據(jù)不同的實(shí)驗(yàn)需求對(duì)超高真空(UHV)腔體(箱體)進(jìn)行精密的設(shè)計(jì)，能滿足配合客戶實(shí)驗(yàn)上的各種質(zhì)量及性能要求。
1. 腔體常規(guī)材質(zhì)：不銹鋼304，可定制不銹鋼316、316L腔體；
2. 腔體可根據(jù)需求設(shè)有快開進(jìn)樣門，鉸鏈機(jī)構(gòu)，移動(dòng)靈活，快開門密封件材質(zhì)采用氟橡膠；
3. 法蘭接口、腔體大小根據(jù)客戶需求定制；
4. 腔室內(nèi)外徹底超聲波清洗，表面清潔；
5. 腔室漏率≤1X10-12Pam3/s;
6. 配合適的真空系統(tǒng)，真空度可進(jìn)入10-6Pa；
7. 供貨周期：確認(rèn)方案后5到6周；
以下是沈陽(yáng)鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司為您一起分享的內(nèi)容，沈陽(yáng)鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司專業(yè)生產(chǎn)長(zhǎng)方形一體成型腔室產(chǎn)品，歡迎新老客戶蒞臨。
真空腔體概述
真空設(shè)備包含很多組件，如真空腔體，真空密封傳導(dǎo)件，視口設(shè)置，真空傳感器，真空顯示表，沉積系統(tǒng)，蒸發(fā)源和蒸發(fā)材料，濺鍍靶材，等離子刻蝕設(shè)備，離子注入設(shè)備，真空爐，真空泵，法蘭，閥門和管件等。真空設(shè)備常用于脫氣，焊接，制備薄膜涂層，生產(chǎn)半導(dǎo)體/晶圓、光學(xué)器件以及特殊材料等。
基板指的是一個(gè)大的法蘭適配器，可以把一個(gè)位置低的腔體或者鐘形罩連接到真空泵。基板通常有一個(gè)位于中心位置的端口或者法蘭連接裝置，可連接到真空抽氣系統(tǒng)。
脫氣箱或者脫氣室通常是腔體結(jié)構(gòu)，一般帶有鉸鏈接口，可連接不需要高真空環(huán)境的其他裝置，如塑料樣品、血液、粘合劑、化學(xué)制品或其他液體的除氣設(shè)備。
輔助井用于連接抽氣系統(tǒng)和鐘形罩。
基地井整合了基板和真空密封頸，用焊接接頭取代一個(gè)真空密封件，可以同時(shí)實(shí)現(xiàn)基板和密封設(shè)備兩個(gè)部件的功能。
真空腔體制作注意事項(xiàng)
為了減小腔體內(nèi)壁的表面積，通常用噴砂或電解拋光的方式來(lái)獲得平坦的表面。超高真空系統(tǒng)的腔體，更多的是利用電解拋光來(lái)進(jìn)行表面處理。
焊接是真空腔體制作中重要的環(huán)節(jié)之一。為避免大氣中熔化的金屬和氧氣發(fā)生化學(xué)反應(yīng)從而影響焊接質(zhì)量，通常采用弧焊來(lái)完成焊接。弧焊是指在焊接過(guò)程中向鎢電極周圍噴射保護(hù)氣體，以防止熔化后的高溫金屬發(fā)生氧化反應(yīng)。
