安慶六氟化硫制備的用途和特點「江蘇凱美」

作用用途

新一代超高壓絕緣介質材料。作為良好的氣體絕緣體，被廣泛用于電子、電氣設備的氣體絕緣。電子級高純六氟化硫是一種理想的電子蝕刻劑，廣泛應用于微電子技術領域，用作電腦芯片、液晶屏等大型集成電路制造中的等離子刻蝕及清洗劑。在光纖制備中用作生產(chǎn)摻氟玻璃的氟源，在制造低損耗單模光纖中用作隔離層的摻雜劑。還可用作氮準分子激光器的摻加氣體。在氣象、環(huán)境檢測及其他部門用作示蹤劑、標準氣或配制標準混合氣。在高壓開關中用作滅弧和大容量變壓器絕緣材料。也可用于粒子加su器及避雷器中。利用其化學穩(wěn)定性好和對設備不腐蝕等特點，在冷凍工業(yè)上可用作冷凍劑（操作溫度－45~0℃之間）。由于對α粒子有高度的停止能力，還用于放i射化學。而國內高純六氟化硫產(chǎn)品遠遠不能滿足市場需求，半導體廠家所用高純產(chǎn)品大部分依賴進口，這給高純六氟化企業(yè)提供更多的發(fā)展機遇。此外還作為一種反吸附劑從礦井煤塵中置換氧。

高純六氟化硫的應用

 六氟化硫的使用可以增加設備運行的安全性、縮小設備體積、延長設備壽命。近幾年，國家大力發(fā)展基礎電力行業(yè)，給六氟化硫廠家?guī)砹撕艽蟮氖袌鰴C遇。

高純六氟化硫(純度在99.99%以上)，國內需求非常旺盛，而且附加值較高。

 高純六氟化硫主要用于半導體工業(yè)中作清洗氣體。

 六氟化硫的成本只有NF3的幾分之一，近年來，各公司以廉價的SF6取代以往CVD工藝中作為清洗氣體的NF3的新技術正被廣泛研究。

 該技術在大幅降低液晶產(chǎn)品加工中占相當比例的CVD氣體成本的同時，還顯示出了極i佳的環(huán)保前景，近年來用量有明顯的提高。

 據(jù)權i威機構預測，2010年我國將成為僅次于美國的世界第二大集成電路市場，總需求量約為500億美元。目前國內使用高純六氟化硫作為蝕刻氣的生產(chǎn)線約有50條左右預計。2016年將達到700噸左右，

 國內使用六氟化硫作為蝕刻氣的生產(chǎn)線有近50條，在未來的五年預計將有20條至30條新線建成。每年約消耗高純六氟化硫為600噸左右。而國內高純六氟化硫產(chǎn)品遠遠不能滿足市場需求，半導體廠家所用高純產(chǎn)品大部分依賴進口，這給高純六氟化企業(yè)提供更多的發(fā)展機遇。這個過濾器就像防毒面具的過濾裝置一樣，裝有活性炭和其它分子復合附劑，過濾掉氫i氟酸、二氧化碳、氟化硫醯、十氟化二硫一氧，粉塵等，保護人員安全。

     為何會發(fā)生六氟化硫氣體中i毒？SF6氣體絕緣的變壓器具有防火防爆的優(yōu)點，這種配電變壓器特別適用于人口稠密的地區(qū)和高層建筑的供電。由于技術問題等原因，有些SF6氣體產(chǎn)品的純度不達標，出廠時就會帶有一些有害雜質。還有一種情況是在處理SF6氣體設備時，人員操作不當，導致SF6電力設備泄 i露，有i毒有害物質泄 i露，導致六氟化硫氣體中i毒。當然也有部分企業(yè)在定期檢查檢漏時偷工減料，導致設備故障，從而發(fā)生六氟化硫氣體中i毒。

六氟化硫防護之工作人員防護措施：

      在有六氟化硫設備的工作場所，有關人員應該穿著專業(yè)的SF6防護服以及手套和工作鞋。六氟化硫防護服采用特殊的材料制成，具有耐磨、柔韌性好的特點，不會影響人員活動自由，此外還能保護人體遠離無機酸、堿以及其它有毒有害分解物。如果在密閉空間內或者狹小的環(huán)境以及可能存在SF6泄i露的環(huán)境，使用防護面罩也屬于六氟化硫防護的內容。在對SF6電氣設備進行更換新的SF6氣體或者是檢漏、檢修、安裝維護的時候，為了避免吸入六氟化硫，減少中i毒的可能性，配帶專業(yè)的面罩和呼吸器很有必要！面部皮膚和眼睛如果直接暴露在氫i氟酸、二氧化硫等物質中，危害可不少。由于有些有毒物質是氣態(tài)存在的，呼吸時有可能進入體內，所以六氟化硫防護需要使用過濾器。這個過濾器就像防毒面具的過濾裝置一樣，裝有活性炭和其它分子復合附劑，過濾掉氫i氟酸、二氧化碳、氟化硫醯、十氟化二硫一氧，粉塵等，保護人員安全。在超高壓和特高壓斷路器中，SF6作為滅弧介質，已取代油，并已大量取代了壓縮空氣。