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              激光脈沖沉積設(shè)備廠家誠(chéng)信企業(yè) 沈陽(yáng)鵬程有限公司

              發(fā)布時(shí)間:2021-09-08 19:09  

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              脈沖激光沉積系統(tǒng)配置介紹

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              脈沖激光沉積系統(tǒng)配置:

              生長(zhǎng)室,進(jìn)樣室可選水平、垂直兩種靶臺(tái)可選激光加熱和輻射加熱兩種樣品臺(tái)可選,激光加熱高的溫度1200℃工藝氣路可以任意搭配配備高壓RHEED,工作氣壓可達(dá)100Pa可預(yù)留法蘭,用于LEED,K-Cell, E-beam等其它可選項(xiàng)如臭氧發(fā)生器,離子源,掩膜系統(tǒng)等。如果您對(duì)脈沖激光沉積感興趣,歡迎點(diǎn)擊左右兩側(cè)的在線客服,或撥打咨詢電話。



              脈沖激光沉積系統(tǒng)特點(diǎn)及優(yōu)勢(shì)

              可根據(jù)客戶需求定制產(chǎn)品,靈活性高,并提供專業(yè)的技術(shù)支持;靶臺(tái)可以安裝6個(gè)靶位,靶材更換靈活;樣品臺(tái)樣品尺寸從10x10mm樣品到2英寸樣品均適用;進(jìn)樣室可以存儲(chǔ)多個(gè)靶和樣品;交易過(guò)程無(wú)需繁瑣的進(jìn)、出關(guān)手續(xù), 交貨期短,性價(jià)比高;

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              脈沖激光沉積原理

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              脈沖激光沉積原理:在真空環(huán)境下利用脈沖激光對(duì)靶材表面進(jìn)行轟擊,利用激光產(chǎn)生的局域熱量將靶材物質(zhì)轟擊出來(lái),再沉積在不同的襯底上,從而形成薄膜。



              PLD 主要選件

              離子輔助沉積 (IBAD)系統(tǒng)介紹

              離子輔助沉積已經(jīng)成為在無(wú)規(guī)取向的基片或無(wú)定形基片上沉積雙軸結(jié)構(gòu)薄膜的一種重要技術(shù)。Neocera 開(kāi)發(fā)了離子輔助的PLD 系統(tǒng),該系統(tǒng)將PLD 在沉積復(fù)雜材料方面的優(yōu)勢(shì)與IBAD 能力結(jié)合在一起。

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