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特氣系統知識分享：標準氣體

所謂標準氣體就是用來校正測量儀器、評價測定方法、給出未知樣品氣標準值的氣體。它分為調整零位用標準氣體(零位氣體)、監測環境用標準氣、工業分析用標準氣體、醫1療儀器用標準氣體、可燃性氣體泄漏用標準氣體、燃燒器尾氣用標準氣體六大類。由于使用了標準氣,所以即使在不同場所測定,也具有相同測定值。高純氣體的輸送管路系統隨著微電子工業的發展，超大規模集成電路制造的硅片尺寸越做越大，要求半導體制造工藝中的氣體品質相應越來越高，對氣體中雜質和露1點要求極為嚴格，需要達到ppb、ppt級，塵埃粒徑求控制小于0。

標準氣體應用范圍很廣,在化工、石油冶金、機械、航天、電子、陶瓷、汽車、光纖、激光、潛水、環保、切割、焊接、食品加工等工業部門均使用大量的常用氣體和特種氣體。其中在石油化工領域對標準氣體的需求量相對較大。

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試驗室集中供氣系統的優點

針對過去使用中存在的問題，現代試驗室對載氣的使用環境進行了改革，即 “集中供氣系統”，即將使用氣體（以下簡稱載氣）集中貯存，然后通過壓差的原理將氣體經過金屬或其他材質管路送至用氣點。其優點主要有以下幾點：

1、首先解決氣瓶的放置問題。氣瓶間的位置如果可能盡量位于與試驗室相對獨立的房間，如果與試驗室在同一大樓內，則氣瓶間的位置要盡量位于人1流較少并且獨立的房間，這種方式可使氣瓶與工作人員及儀器完全隔離，即使有害氣體有泄漏，也不會發生直接傷害。易1燃易1爆氣體：此類氣體只要形成了可燃氣體爆1炸混合氣和達到著火溫度。

2、其次氣體混合的問題。將所有載氣氣瓶根據氣體性質分別集中在一個氣瓶間中與助燃氣體分開存貯。

3、再次是解決氣瓶壓力的問題。每種氣體可以將多瓶氣體并聯然后通過一個出口統一減壓后運送氣體至使用點。因為氣瓶間是相對獨立的，整個氣路系統壓力1大的地方也是氣瓶出口處，因此這種方式將氣瓶壓力可能發生的危險縮小至氣瓶間內，可對人體及儀器的傷害可降到1低。電子特氣系統的維護由于特氣系統是一種具有高風險的供應系統，因此在生產線現場的維護需要專業、有經驗的技術員完成。

小流量氣體凈化系統

高純供氣系統主要應用于鋼瓶氣、管道氣及氣體發生器等的高純連續供氣，應用于超微量水、氧分析儀、氣相色譜儀、常壓離子質譜儀等各類氣體分析儀器純化載氣或零點氣，也可用于超高純度氣體管道安裝施工中的吹掃氣體，更可以為半導體工藝設備提供超高純的工藝氣體。實驗室氣體管道設計要求了解實驗室設計的都知道：實驗室的任何的設計都是有規格要求的，出了這個要求的范圍那么實驗室的設計就有漏洞，就不合格，就容易發生事故。

氣體凈化系統根據需求采用常溫或者高溫吸附劑，電化學拋光316L不銹鋼管件，出氣口配置微米過濾器，其氣體純化指標達到各項雜質含量小于1ppb的世界先進水平。

氣體配比儀采用質量流量計，電化學拋光316L不銹鋼管件，雙卡套或者VCR氣體接頭。

高純氣體的輸送管路系統

隨著微電子工業的發展，超大規模集成電路制造的硅片尺寸越做越大，要求半導體制造工藝中的氣體品質相應越來越高，對氣體中雜質和露1點要求極為嚴格，需要達到ppb、ppt級，塵埃粒徑求控制小于0.1～0.05m的微粒，因此對高純氣體的輸送管路系統提出了非常高的要求 。漏率（漏氣速率）：是指單位時間內通過漏孔或間隙流入到真空系統或容器的氣體量。