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發布時間:2021-07-12 07:07  
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1級:塵埃易使芯片失效或者穩定性下降,當金屬塵埃落于集成電路上時,就可能造成短路。當空氣中的酸性離子落在電路上時,可能將電路腐蝕,因此凈化空調系統對微電子工業而言至關重要。此外,液晶、光纖的生產也需要1級潔凈度的要求。凈化工程在設計時,無論是新建還是重新改造的凈化車間,都一定依照國家相關標準、規范進行。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時要求濕度值一般較低,因為人出汗以后,對產品將有污染,特別是怕鈉的半導體車間,這種車間不宜超過25度。

現在我們國家的凈化工程已經在朝著節能的方向發展了,除了專業人士以外,其他人很少知道凈化工程的耗能量特別大,時候普通寫字樓的20倍,比美國更發達國家高出了15%。看到這些令人心驚的數字,我們國家的科學家們從節能的角度出發從根本上出出發,設計出能夠節省的相關設備。布置工藝的流程盡可能短,減少交叉往復,、物流走向合理。要配備人員凈化室、物料凈化室,除配備產品工序要求的用室外,還應配備潔具室、洗衣間、暫存室等,每間用室相互,凈化工程的面積應在保證基本要求前提下,與生產規模相適應。濕度過高產生的問題更多。相對濕度超過55%時,冷卻水管壁上會結露,如果發生在精密裝置或電路中,就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。此外,濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學吸附在表面耐難以清除。

潔凈室中的溫濕度控制。潔凈空間的溫濕度主要是根據工藝要求來確定,但在滿足工藝要求的條件下,應考慮到 人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高,出現了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。濕度過高產生的問題更多。相對濕度超過55%時,冷卻水管壁上會結露,如果發生在精密裝置或電路中,就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。此外,濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學吸附在表面耐難以清除。凈化工程的等級劃分比較的嚴格,一般按照7個等級進行的劃分,分別是1級,10級,100級,1000級,10000級,100000,1000000級,凈化安全要求是根據等級來實施的,凈化工程等級數越小,級別是越高的,其含塵量越少,排名是靠前的。
