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無塵車間凈化技術的設備發展

　　美國ASYST公司、德國MW公司發展的使用隔離技術的亞微米生產微環境系統設備和技術在近幾年中得到廣泛采用。該項新的無塵車間潔凈技術在100級潔凈度的潔凈廠房中，采用工藝設備局部使用隔離技術的微環境，把投資比例壓縮到高ji別的微環境，無塵車間消除了操作者與工藝設備運行的二次污染源產生對集成電路成品率和可靠性的影響作用。生物制藥潔凈工程節能設計，應充分考慮工藝生產能力、設備的大小、操作方式和前后生產工序的連接方式、操作人數、設備自動化程度、設備檢修空間、設備清洗方式等因素，以降低投資和運行費用，達到節能要求。

移動式層流小車

①主體框架采用304不銹鋼，工作區三面PC板一面可開啟門，美觀整潔，易于清潔消毒;

②采用可調風量的風機系統，通過調節風機的工況，保證潔凈工作區的風速在額定范圍內;

③氣流流形為垂直流，空氣自上而下，在工作區與PC板之間形成空氣保護，并與外部形成正壓差，保證工作區的潔凈度。

④設有報警系統，風機非正常狀態停機，將自動報警。