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發布時間:2021-04-08 21:23  
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廣州潽拓——{精},分子泵
EDWARDS EPX180L 半導體干式真空泵 EPX180L維修
愛德華EPX 180真空干泵
Edwards EPX 系列支持清潔和輕 型半導體加工應用,如灰化/剝離和注入端點 站應用。EPX 系列以極輕、的 封裝提供工具上泵送功能,可實現異常清潔的真空。EPX 泵 采用已獲zhuanli的獨特單軸再生 Holweck® 分級機構,能夠從大氣壓抽空到小于 7 x 10-7Torr 的極限壓力。EPX 泵能夠以模塊化組件 提供增強的性能,既可集成到制程工具,可以遠程安裝。重量43.5KG。

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廣州潽拓專業維修分子泵,愛德華Edwards Ext 75dx iso100復合泵維修保養

性能特點
兼容TIC渦輪儀表控制器。
多種通訊模式。
并口,用于傳統控制信號接口。
串口,用于RS-232接口。
通過RS-232接口,用戶可以設置各種參數RS-232。
正常泵速顯示。
準備轉速顯示。
泵溫。
增強型泵速、功耗、溫度監測。



潽拓——{精}{精},分子泵
愛德華BOC Edwards epx180LE干式真空泵維修

進氣法蘭ISO63
出口法蘭NW25
噪聲<59分貝(A)
zui小冷卻水流量2升/分鐘-1
冷卻水溫度15-35°C
電力供應200/208 V,50/60 Hz三相
電機額定功率3.0千瓦
重量43.5公斤

EDWARDS EPX愛德華干泵功能和優勢:
可兼容的網絡 - EPX 系列配有zui終用戶控制,可以連接到各種結構的網絡,以進行診斷監視和控制。
緊湊的占地面積 – 作為可用的zui小工具上泵之一,EPX 顯著節省了占地面積。EPX 可以直接安裝到工具上,從而節省了前級管道和安裝成本,如果需要也可遠程安裝。