白云區Edwards真空分子泵說明書廠家供應,廣州潽拓光電科技

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     EDWARDS EPX180L 半導體干式真空泵 EPX180L維修

愛德華EPX 180真空干泵

       Edwards EPX 系列支持清潔和輕 型半導體加工應用，如灰化/剝離和注入端點 站應用。EPX 系列以極輕、的 封裝提供工具上泵送功能，可實現異常清潔的真空。EPX 泵 采用已獲zhuanli的獨特單軸再生 Holweck® 分級機構，能夠從大氣壓抽空到小于 7 x 10-7Torr 的極限壓力。EPX 泵能夠以模塊化組件 提供增強的性能，既可集成到制程工具，可以遠程安裝。重量43.5KG。

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廣州潽拓專業維修分子泵，愛德華Edwards Ext 75dx iso100復合泵維修保養

性能特點

兼容TIC渦輪儀表控制器。

多種通訊模式。

并口，用于傳統控制信號接口。

串口，用于RS-232接口。

通過RS-232接口，用戶可以設置各種參數RS-232。

正常泵速顯示。

準備轉速顯示。

泵溫。

增強型泵速、功耗、溫度監測。

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愛德華BOC Edwards epx180LE干式真空泵維修

進氣法蘭ISO63

出口法蘭NW25

噪聲<59分貝（A）

zui小冷卻水流量2升/分鐘-1

冷卻水溫度15-35°C

電力供應200/208 V，50/60 Hz三相

電機額定功率3.0千瓦

重量43.5公斤

EDWARDS EPX愛德華干泵功能和優勢：

        可兼容的網絡 - EPX 系列配有zui終用戶控制，可以連接到各種結構的網絡，以進行診斷監視和控制。

緊湊的占地面積 – 作為可用的zui小工具上泵之一，EPX 顯著節省了占地面積。EPX 可以直接安裝到工具上，從而節省了前級管道和安裝成本，如果需要也可遠程安裝。