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發布時間:2021-06-03 07:58  
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氦質譜檢漏儀的基本原理與結構
隨著科技的迅猛發展,氦質譜檢儀及其應用技術也在不斷發展和究善。氦質譜檢漏儀的應用拓展(四)(1)制冷行業冰箱、空調、汽車用空調、蒸發器、冷凝器、奪縮機、低溫儲槽。各國的設備廠商相繼推出了多種類烈的氦質譜檢涮儀,廣泛應用丁航空航天,電力電子,汽車等各個行業,綜觀較新氦質譜檢漏儀的性能特點發現,氦質譜檢漏儀正向著高靈敏度、自動化、寬程、等先進方向發展,這些特點很好地滿足了當前檢漏應用的需求,也極大的推動了氮質譜檢漏技術的不斷發展。氦質譜檢漏儀的基本原理與結構氦質譜檢漏儀一般由質譜管,真空系統和電子系統組成。其中質譜管包括離子源,質量分析器和離子檢測器; 真空系統一般由分子泵、機械泵、電磁閥和真空計組成。離子源的作用是將原子電離成帶電離子并聚焦成束,以一定能量注入質分析器,
目前常用的電子轟擊型離子源有尼爾型和震蕩型兩種形式。質分析器的作用起將各類離子按其質荷比的不同實現分離。
離子檢測器的作用是手機質量分析器所選定的氦離子流并加以放大,再通過比對運算,得出泄漏率
真空系統的作用是獲取質譜過程所需的真空,同時完成被檢件的抽空和氦氣的引入。國家標準規定的瓶裝氦氣按純度高低分別為工業用氦、純氦、高純氦三種。真空系統一般由分子泵、機械泵、電磁閥和真空計組成組成。按照真空系統的不同結構,檢漏儀分為常規系統和逆擴散兩種。常規系統多用于早期的氦質譜檢漏儀,該種檢漏儀的被檢件與高真空部分直接相通,由被檢件泄入的氮氣首先到達質譜管被檢到,因而具有較高的靈敏度,但是會對質譜管有污染。逆擴散系統檢漏儀與常規系統相比,被檢件只與低真空相通,因此只需將被檢工件抽至低真空就能進行檢漏,氦氣是逆擴散到質譜管,不會對系統有污染,因此被廣泛采用,已成為市場的主流的產品。
機械泵的工作方式不一樣,分為干泵檢漏儀和油泵檢漏儀,油泵工作會有油霧排出,污染工作環境,干泵沒有油霧排出對工作環境沒有影響。在半導體潔凈車間都是使用干泵檢漏儀。
真空箱氦檢漏及回收系統在汽車空調的應用一
水檢和氦檢兩種檢漏方法的分析
目前,水檢和氦檢兩種檢漏方法國內汽車空調兩器檢漏主要的方法,下面將分析兩種檢漏方法的優缺點。
1.1 傳統水泡法檢測分析
水泡檢漏法,屬于檢測精度要求不高的粗檢漏,就是將被檢工件充入一定壓力的干燥壓縮空氣或者是氮氣,然后放入水中,觀察是否有氣泡從被檢工件中跑出來,如果有,則說明漏,而且指出什么位置泄漏,一般只確定被檢件是漏還是不漏,而不需定量。同時,分析器出口電極及離子源加速極的隙縫也可以加大,使更多的氦離子通過,提高了儀器靈敏度。但并不是說氣泡檢漏就不能定量。在某些情況下,氣泡檢漏也可以定量。檢出氣泡的漏率與氣泡直徑、氣泡形成速率、充氣的種類有關。
因此,對于空調兩器檢漏來說,采用水檢方法,靈敏度較低。受人為因素影響,漏判誤判率會明顯增加。另外,工件水檢后,外表面有水,需烘干處理,耗電多,耗費勞動力也多。但水檢法也有優點,就是操作簡單直觀,而且能夠查找漏點位置。
1.2 氦質譜檢漏方法分析
氦質譜檢漏是以氦作探索氣體,對各種需密封的容器的漏隙進行快速定位和定量檢測的理想方法。
氦質譜檢漏法有優點在于:氦是惰性氣體,對大氣無污染,使用安全;氦原子質量小,黏度小,易滲透過可能存在的漏隙。氦氣在大氣中含量小(5ppm),不易受干擾。氦質譜檢漏儀檢測靈敏度高,速度快,適用范圍廣。
目前國內生產氦質譜檢漏儀較小可檢漏率可達到5.0×10-13 Pa·m3/s。目前,國內外比較流行的針對空調兩器檢漏方法,多采用真空箱法。
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氦質譜檢漏儀的校準方法
氦質譜檢漏儀廣泛應用于制冷行業、核工業、電子行業、真空行業、電力行業、航空航天等行業。根據其工作原理和技術性能指標,通過實驗,總結通過氦質譜檢漏儀對其漏率校準的方法。
氦質譜檢漏儀原理:
氦質譜檢漏儀是一種以氦氣作為示漏氣體專門用于檢漏的質譜分析儀器。其基本工作原理是采集被檢件中的氣體樣品并將其電離,根據不
氦質譜檢漏儀主要由質譜室、真空系統和電氣部分等組成。
氦質譜檢漏儀的內部一般有標準漏孔,可將標準漏孔拆卸進行校準,如果不能單獨校準標準漏孔,就可考慮直接通過氦質譜檢漏儀進行漏率部分的校準,本文主要討論這種情況下氦漏率的校準方法。
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