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              發布時間:2021-08-25 09:20  

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              真空鍍膜應用,簡單地理解就是在真空環境下,利用蒸鍍、濺射以及隨后凝結的辦法,在金屬、玻璃、陶瓷、半導體以及塑料件等物體上鍍上金屬薄膜或者是覆蓋層。相對于傳統鍍膜方式,真空鍍膜應用屬于一種干式鍍膜。真空條件下制備薄膜,環境清潔,膜不易受到污染,因此,可獲得致密性好、純度高、膜層均勻的膜。

              物理氣相沉積:在真空狀態下,鍍膜材料經蒸發或濺射等物理方法氣化,沉積到基片上的一種制取膜層的方法。


              真空鍍膜的均勻性已經相當好,可以輕松將粗糙度控制在可見光波長的1/10范圍內,也就是說對于薄膜的光學特性來說,真空鍍膜沒有障礙。

              鍍的膜并非是想要的膜的化學成分,這也是真空鍍膜的技術含量所在。

              真空鍍膜的物理過程

              基本原理可分為三個工藝步驟:

              鍍料的氣化:即鍍料的蒸發、升華或被濺射從而形成氣化源

              鍍料粒子((原子、分子或離子)的遷移:由氣化源供出原子、分子或離子經過碰撞,產生多種反應。

              鍍料粒子在基片表面的沉積


              真空鍍膜就是于真空室內,采用一定方法使材料凝聚成膜的工藝。

              在真空條件下成膜有很多優點:可減少蒸發材料的原子、分子在飛向基板過程中于分子的碰撞,減少成膜過程中氣體分子進入薄膜中成為雜質的量,從而提供膜層的致密度、純度、沉積速率和與基板的附著力。通常真空蒸鍍要求成膜室內壓力等于或低于10-2Pa,對于蒸發源與基板距離較遠和薄膜質量要求很高的場合,則要求壓力更低。

              真空鍍膜設備普遍應用于工業生產,無論是小產品還是大產品、金屬制品還是塑膠制品、亦或者陶瓷、芯片、電路板、玻璃等產品,基本上所有需要進行表面處理鍍膜的都需要用到。





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