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當真空泵出現(xiàn)問題時，必須找專業(yè)人員進行維修。真空泵維修保養(yǎng)是指修正糾正已失效泵浦功能參數(shù)的一種技術。真空泵修補過程通常包含拆機、查看、清潔各零部件，修正加工或替換零部件，拼裝調(diào)試等過程。　　

如何合理的對真空泵進行拆除呢？　　

1.在使用真空泵中，各種原因都可能致使真空泵的異常現(xiàn)象和故障發(fā)作，經(jīng)過測驗調(diào)整后，如還不能正常作業(yè)就要思考拆解修補和零件替換了，一起也要由專業(yè)人員進行。真空泵修補保養(yǎng)過程中，在場所進行，并堅持作業(yè)場所的潔凈。　　

2.真空泵的零部件精度較高，要留意零件外表的維護，避免劃傷、碰傷等不良現(xiàn)象發(fā)作。

真空系統(tǒng)。是由真空泵、PLC程序控制系統(tǒng)、儲氣罐、真空管道、真空閥門、境外過濾總成等組成的成套真空系統(tǒng)。目前，該系統(tǒng)廣泛應用于電子半導體業(yè)、光電背光模組、機械加工等行業(yè)。該真空系統(tǒng)出廠時已經(jīng)包括了抽速控制、進氣過濾、主要運行數(shù)據(jù)顯示、運行保護及遠程控制接口等。只需要在現(xiàn)場進行簡單的連接電源和管道,即可以組成一個完整的真空系統(tǒng)。目前，該系統(tǒng)廣泛應用于電子半導體業(yè)、光電背光模組、機械加工等行業(yè)。該真空系統(tǒng)的控制系統(tǒng)由先進的PLC控制系統(tǒng)經(jīng)過編程后組成,以觸摸屏為人機界面,實現(xiàn)對真空系統(tǒng)、工件行走、磁控靶、工藝設定和執(zhí)行、報警保護系統(tǒng)等的全自動化控制。

真空泵選擇要分析判定被抽物體的成分：　　

1.被抽物體是氣體、液體還是顆粒，如果被抽氣體中含有水汽或少量顆粒性和粉塵等雜質(zhì)，慎選旋片式真空泵，如果真空度要求較高，則應加過濾裝置加以過濾方能使用旋片式真空泵做真空設備。　　

2.要知道被抽物體是否有腐蝕(酸性還是堿性，PH值是多少)，若含有酸堿腐蝕或有機腐蝕等因素的氣體，應過濾或中和處理才能選旋片式真空泵。　　

3.被抽物體是否對橡膠或者油品是否有污染？　　針對不同的被抽介質(zhì)要選用相應的真空設備，如果氣體中含有大量蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體，應該考慮在泵的進氣口管路上安裝相應的輔助設備，如冷凝器，過濾器等。