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發布時間:2021-08-29 13:37  
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常見真空腔體技術性能
材質:不銹鋼、鋁合金等
腔體適用溫度范圍:-190℃~ 1500℃(水冷)
密封方式:氟膠O型圈或金屬無氧銅圈
出廠檢測事項:
1、真空漏率檢測1.3*10-10mbar*l/s
2、水冷水壓檢測:8公斤24小時無泄漏檢測.
內外表面處理:拉絲拋光處理、噴砂電解處理、酸洗處理、電解拋光處理和鏡面拋光處理等.
真空腔體
真空技術主要包括真空獲得、真空測量、真空檢漏和真空應用四個方面.在真空技術發展中,這四個方面的技術是相互促進的.
隨著真空獲得技術的發展,真空應用日漸擴大到工業和科學研究的各個方面.真空應用是指利用稀薄氣體的物理環境完成某些特定任務.有些是利用這種環境制造產品或設備,如燈泡、電子管和等. 這些產品在使用期間始終保持真空,而另一些則只是把真空當作生產中的一個步驟,產品在大氣環境下使用,如真空鍍膜、真空干燥和真空浸漬等.
真空的應用范圍極廣,主要分為低真空、中真空、高真空和超高真空應用.
半導體真空腔體制造技術
真空腔體在薄膜涂層、微電子、光學器件和材料制造中,是一種能適應高真空環境的特殊容器。真空腔體通常包括一系列部品——如鐘形罩、基板、傳動軸以及輔助井——這些構成一個完整的真空腔體。
復雜的真空腔體通常需要定制,即針對應用終端進行專門的設計和制作。某些常見的真空腔體已經過預先設計,如手套箱、焊接室、脫氣箱、表面分析真空腔等。即真空并不是無物而是有實物粒子和虛粒子轉化的,但整體對外是不顯示物理屬性的宏觀總體。例如脫氣箱和手套箱一般采用低真空環境,可用于焊接,或用于塑料制品、復合材料層壓板、封裝組件等的脫氣。
真空設備包含很多組件,如真空腔體,真空密封傳導件,視口設置,真空傳感器,真空顯示表,沉積系統,蒸發源和蒸發材料,濺鍍靶材,等離子刻蝕設備,離子注入設備,真空爐,專用真空泵,法蘭,閥門和管件等。真空設備常用于脫氣,焊接,制備薄膜涂層,生產半導體/晶圓、光學器件以及特殊材料等。真空腔體不允許內外雙重焊接和雙重密封個大氣壓在1cm2的面積上產生約1kgf的壓力,對直徑20cm的法蘭來講,就是1t的壓力。