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發布時間:2021-09-21 23:22  
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氦質譜檢漏原理
氦質譜檢漏技術是以無色、無味的惰性氣體氦氣為示蹤介質、以磁質譜分析儀為檢測儀器,用于檢漏的一種檢測技術,它的檢漏靈敏度可達10-14~10-15Pa?m3/s,可以準確確定漏孔位置和漏率。真空箱式氦檢漏系統【工作環境】工作環境:1、長×寬×高(設備占地面積約):依據實物實際面積為準。氦質譜檢漏儀主要由質譜室、真空系統組件和電子學控制元件三大部分組成。質譜室接在分子泵的高真空端,入口接在分子泵和機械泵之間,利用分子泵對不同氣體具有不同壓縮比的特點,氦氣逆著分子泵的抽氣方向進入質譜室。檢漏儀在質譜室中將氣體電離,這些離子在加速電場的作用下進入磁場,在洛倫茲力作用下發生偏轉,由于不同荷質比的離子具有不同的電磁學特性,偏轉半徑各不相同,在擋板的作用下,氦檢漏儀的收集板只允許帶正電的氦離子被接收到,單位時間到達收集板的氦離子對應于一個電流信號,這個電流信號正比于進入到達收集板氦離子的數量,電流信號經過放大后顯示在質譜儀的顯示面板上,其大小反映了泄漏點的漏率,通過泄漏率大小來確定該位置泄漏程度的大小。
氦質譜檢漏儀的示蹤氣體選用氦氣,是因為氦氣具有以下優良特性:
①氦氣在空氣中的含量少,體積含量為5.24×10-6,如果氦氣在環境中的含量超過標準,可以比較容易地探測到極微量的氦氣;
②氦分子小、質量輕、易擴散、易穿越漏孔、易于檢測也易于清除;
③氦離子荷質比小,易于進行質譜分析;
④氦氣是惰性氣體,化學性質穩定,不會腐蝕和損傷任何設備;
⑤氦氣無毒,不凝結,極難容于水。
今天科創真空小編和大家分享的是氦質譜檢漏的工作原理,希望對您有所幫助!
真空箱式氦檢漏系統【工作環境】
科創真空——專業真空箱氦檢漏供應商,我們為您帶來以下信息。
工作環境:
1、長×寬×高(設備占地面積約):依據實物實際面積為準。
2、電源:380 V±38 V,50 Hz±0.5 Hz,約22KW;
3、壓縮氣源及減壓器:0.6~0.8Mpa氮氣或干燥清潔壓縮空氣;
4、待檢工件要求清潔、干燥。
5、環境溫度: 5 ℃ ~ 35 ℃;
6、相對濕度: ≤80%;
7、氦氣源及減壓器:氦氣純度為 99%。
8、設備應安裝在通風良好的廠房內。
用氦氣作為氦質譜檢漏氣體的原因
1、氦在被檢件及真空系統中不易被吸附。這樣檢出一個漏孔可以使氮信號迅速消失以便繼續進行檢漏,提高了儀器的檢漏效率。
2.氫氣有些性能(如質量小、易通過漏孔)比氦還好,然而由于氫一方面有 危險,另- -方面在油擴散泵中,由于油受熱裂解會產:大量的碳和氫,使氫本底極高且波動大,以致靈敏度大大降低,所以很少采用。