天津芯片廠車間裝修工程常用指南「華一凈化」

光學器件制作工藝的特殊要求

根據光學器件制作工藝的特殊要求，需要在超凈室中實驗進行工作。千級凈化車間內可以進行涂膠、光刻、蒸發鍍膜及鍵合，清洗、烘干、電鍍、腐蝕、擴散及研磨等。千級凈化車間各項功能的配備均以滿足各項工藝要求為前提,它具備以下特點:(1) 在潔凈區與非潔凈區隔離口設有“TJ —1”型單人定時冷熱風淋室,它是工作人員進入超凈室的凈化關口。(2) 在非潔凈區設有更衣室,操作人員更換防靜電潔凈服后才可進入超凈室。(3) 設有室內對外器件、物品傳遞窗。

技術設備層內管線較多,管線安裝及維護時,均需要預留一定的安裝

技術設備層內管線較多，管線安裝及維護時，均需要預留一定的安裝操作空間以及各管線安裝順序。如焊接管道需要考慮焊槍的焊接空間；絲扣連接的管道需要預留安裝喉鉗操作空間；保溫管道需要預留保溫層的安裝空間；閥門安裝位置除按設計及規范安裝要求外還需要考慮閥門操作手柄的操作位置，以及日后運行時操作的方便性，以方便維護、維修單位的使用，當然也需要考慮閥門重新拆裝的方便性。

100級潔凈間的氣流形式

100級潔凈間的氣流形式是層流方式，空氣以均勻的斷面速度沿同一水平方向流動，與流體力學的層流概念不太相同，垂直方向層流并且側回風。和百級以上潔凈間絮流方式(即空氣以不均勻的速度呈不平行流線流動)相比較，它具有效果完全、運轉迅速穩定、使得空氣的塵埃粒子含量少，控制管理方便容易等優點，但是設備價格高令一些中小廠家難以承受，維護費用也很高。