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分子泵的抽氣機(jī)理與機(jī)械泵靠泵腔容積變化進(jìn)行抽氣的機(jī)理不同，利用了動量傳遞原理，使分子定向流動而被排出泵外，從而達(dá)到抽氣的目的。　　分子泵在電機(jī)的帶動下高速旋轉(zhuǎn)，采用變頻電源驅(qū)動電機(jī)，目的是得到較高的轉(zhuǎn)速。

分子泵是一種真空泵，它使用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子將動量傳遞到氣體分子以獲得方向速度，從而將其壓縮并驅(qū)動到上一級的排氣口。

維護(hù)分子泵的操作要求：

1.分子泵的氣體回路接口的快速連接法蘭的螺釘應(yīng)朝上，以防止松弛引起的空氣泄漏；

2.分子泵不能在大氣中打開，必須在達(dá)到10Pa時打開。 打開相應(yīng)的高壓閥以啟動分子泵；

應(yīng)用程序提供了對分子泵的遠(yuǎn)程控制功能，使您可以輕松簡便的和監(jiān)測泵的運(yùn)行狀態(tài)，查看泵的參數(shù)和參數(shù)變化曲線，如功率變化曲線，真空度變化曲線（如果安裝有適配的真空計），這在您設(shè)計真空系統(tǒng)或抽氣工藝時將會非常有用。您還可以通過該應(yīng)用程序?qū)С鋈罩疚募⒈４嬖谑謾C(jī)上或通過郵件、短信等，與您的同事或安捷倫技術(shù)支持團(tuán)隊快速共享泵的信息和日志文件。日志文件可以通過電子表格（excel）程序打開并查看，只需點擊幾下屏幕，就可以方便的進(jìn)行溝通，這避免反復(fù)的詢問和確認(rèn)，開啟了一種全新的交流方式。如果前級泵的效率差，分子泵就會比較吃力，啟動速度慢，抽氣時間長，電流高，分子泵溫度升高等。

由于渦輪分子泵對于氣體的壓縮比很好，因此工作時油蒸汽的回流問題基本可以忽略不計。渦輪分子泵的極限真空度能達(dá)到10-8Pa的數(shù)量級，抽速可以達(dá)到1000L/s，達(dá)到抽速的壓力區(qū)間是1~10-8Pa之間，因此在使用時要以旋片機(jī)械泵作為其前級泵。升級完成的安捷倫生產(chǎn)流程管理系統(tǒng)，和新增的大量自動化生產(chǎn)裝配工藝和設(shè)備，保證了產(chǎn)品的一致性，和質(zhì)量的穩(wěn)定性。

電壓的不穩(wěn)定，特別對磁浮類的分子泵損傷較大。前級泵的效率差;我們知道腔體內(nèi)的大部分氣體首先是通過前級泵抽出，真空達(dá)到一定程度分子泵才會啟動。如果前級泵的效率差，分子泵就會比較吃力，啟動速度慢，抽氣時間長，電流高，分子泵溫度升高等。

鎖母鎖緊過度只會導(dǎo)致軸間墊過早失效，相反適度鎖緊鎖母，使軸間墊始終保持一定的壓縮彈性，在運(yùn)轉(zhuǎn)中鎖母會自動適時鎖緊，使軸間始終處于良好的密封狀態(tài)。

新的比舊的好。相對而言，使用新機(jī)械密封的效果好于舊的，但新機(jī)械密封的質(zhì)量或材質(zhì)選擇不當(dāng)時，配合尺寸誤差較大會影響密封效果；由于渦輪分子泵對于氣體的壓縮比很好，因此工作時油蒸汽的回流問題基本可以忽略不計。在聚合性和滲透性介質(zhì)中，靜環(huán)如無過度磨損，還是不更換為好。因為靜環(huán)在靜環(huán)座中長時間處于靜止?fàn)顟B(tài)，使聚合物和雜質(zhì)沉積為一體，起到了較好的密封作用。