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發布時間：2021-01-10 11:29
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愛德華E2M80真空泵維修的（6）個流程
1.確認問題（如有需要，會在24小時內排出專業技術人員趕赴現場確認愛德華真空泵故障）
2、取泵維修（在故障確認后精捷會給出具體維修周期、維修方案和可達到的效果并上門取泵）
3、拆開報價（為了讓客戶更清晰的知道維修費用，明勝把維修費用細分化、合理化
4、確認維修（客戶同意維修費用后開始維修，維修時刻現場觀摩，維修后所換配件原封不動送還客戶
5、試機確認（確保維修過后達到真空度和穩定性能，真空度達到出廠標準）
6、送泵安裝（在試機OK后24小時內，客戶可當初驗收真空泵，看試機運轉效果）
7、定期維護（保修3個月內會不定期的回訪，3個月后會有專門的售后人員跟蹤維護）
化學氣相沉淀化學氣相沉淀 (CVD) 系統具有 多種配置用于沉積多種類型的薄膜。5Torr的壓力范圍下、需要超過3000m3h1/1776ft3min-1的高抽速的應用場合。制程 還以不同的壓力和流量狀態運行，其中的許多狀態 都使用含氟的干燥清潔制程。所有這些可變因素意味著您 需要咨詢我們的應用工程師之一來選擇適當的泵 和氣體減排系統以便大程度地延長我們產品的維修間隔并 延長您制程的正常運行時間。
干泵選擇
CVD 制程通常需要通過選擇適當的 干泵產品來克服四個特定挑戰。這些挑戰是：
粉末
許多制程會產生 大量粉末副產品。淪分子泵是一套超高速、超真空的裝置，它的旋轉速度高達90000RPM（1500轉／秒），形成的超真空度可以低到5x10-10Pa以下（十億分之二個大氣壓），并且它設計緊湊，體積小，重量輕。需要將真空泵設計成 能夠處理這些粉末而不被卡住。在某些情況下，粉末實際上可能 很粘或需要高溫運行才能確保粉末中夾帶的其他 副產品不在泵內部冷凝并卡住泵機構。 對于幾乎所有產生粉末的制程，您將不得不使用 采用高扭矩電機的泵，以確保泵在應力下保持 旋轉。
冷凝
半導體 制程的某些副產品含有氣體，當氣體分壓 增加或與冷表面接觸時，這些氣體會從氣 相變為固相。在泵送這些副產品時， 您將需要非常熱的泵，是從入口到出口 具有盡可能一致的溫度分布的泵。
腐蝕
有些制程 需要泵送鹵化物。我們的泵設計具有可選的溫度設定點和高旋轉速度以降低腐蝕風險并降低泵中不可避免發生的總體材料損失速率。尤其是需要含氟的清潔制程來 保持艙室的清潔性，但被激的氟自由基 可能會侵蝕泵的內表面。如果制程主要使用 可能對泵造成腐蝕的化學品，您需要確保可以 將泵溫度設置為一個較低值以降低腐蝕風險。我們的泵設計 具有可選的溫度設定點和高旋轉 速度以降低腐蝕風險并降低泵中不可避免 發生的總體材料損失速率。對于某些 CVD 制程，需要在溫度設定點上 達到平衡，以確保避免任何冷凝問題， 同時不使腐蝕速度過高。
設備的參數相同，但是真空泵內在的技術不一樣，所以可靠性還有噪音震動，這些方面的數據也都會存在差異，我們作出選擇的過程中，盡量的去選擇那些可靠性更高，噪聲更低，震動更小的設備應用的過程中，才能夠給我們帶來了更多的保障，如果設備內在的技術不成熟，使用的過程中存在著各種問題，那么不僅會對周圍的環境帶來影響，也會給我們造成不利的問題發生，因此大家應該正確的去認識。另外，摩擦會造成成功耗上升和效率下降，同時局部會有溫升，因此工藝參數對轉子與靜止件軸向摩擦的故障診斷非常重要。
