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磁控濺射種類

用磁控靶源濺射金屬和合金很容易，點火和濺射很方便。這是因為靶（陰極），等離子體，和被濺零件/真空腔體可形成回路。但若濺射絕緣體如陶瓷則回路斷了。于是人們采用高頻電源，回路中加入很強的電容。目前沒有見到對磁控濺射靶材利用率專門或系統研究的報道，而從理論上對磁控濺射靶材利用率近似計算的探討具有實際意義。這樣在絕緣回路中靶材成了一個電容。但高頻磁控濺射電源昂貴，濺射速率很小，同時接地技術很復雜，因而難大規模采用。為解決此問題，發明了磁控反應濺射。就是用金屬靶，加入Ar和反應氣體如氮氣或氧氣。當金屬靶材撞向零件時由于能量轉化，與反應氣體化合生成氮化物或氧化物。磁控反應濺射絕緣體看似容易，而實際操作困難。主要問題是反應不光發生在零件表面，也發生在陽極，真空腔體表面，以及靶源表面。從而引起滅火，靶源和工件表面起弧等。其原理是一對靶源互相為陰陽極，從而消除陽極表面氧化或氮化。冷卻是一切源（磁控，多弧，離子）所必需，因為能量很大一部分轉為熱量，若無冷卻或冷卻不足，這種熱量將使靶源溫度達一千度以上從而溶化整個靶源。

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磁控濺射鍍膜儀設備在工業中有什么優勢

磁控濺射鍍膜儀設備發展至今，在工業方面顯的極為重要，其作用范圍廣泛，徹底的改變了傳統的鍍膜行業。使得鍍膜作業在生產質量方面以及效率方面都得到了較大的提升。那么磁控濺射鍍膜儀設備在工業中有什么優勢呢？

磁控濺射鍍膜儀設備主要有一下優勢：

1、沉積速度快、基材溫升低、對膜層的損傷小；

2、對于大部分材料，只要能制成耙材，就可以實現濺射；

3、濺射所獲得的薄膜與基片結合較好；

4、濺射所獲得的薄膜純度高、致密性好、成膜均勻性好；

5、濺射工藝可重復性好，可以在大面積基片上獲得厚度均勻的薄膜；

6、能夠準確控制鍍層的厚度，同時可通過改變參數條件控制組成薄膜的顆粒大小；

7、不同的金屬、合金、氧化物能夠進行混合，同時濺射于基材上；

8、易于實現工業化。

隨著科技的發展，磁控濺射鍍膜儀設備在日常中個方面都有著極大的貢獻，不僅在節能環保方面有著重大的提升，更為重要的是其解放了勞動人民的雙手，讓勞動者徹底的從傳統鍍膜行業中解放。

我國真空鍍膜機行業發展現狀和前景分析

當前我國真空鍍膜設備行業等傳統制造業產能過剩已經顯現，倒逼效應顯著，國家大力發展環保產業，對傳統電鍍行業予以取締或轉型或限產，這正是離子鍍膜行業發展的大好時機。實際上，每個設備都有使用壽命，例如，擴散泵用的硅油，使用壽命為兩年左右，我們提早更換，這是浪費嗎。真空鍍膜的高性價比以及傳統電鍍對環境的污染迫使真空鍍膜成為了主流，各種類型各種鍍膜工藝的真空鍍膜設備不斷增加。

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