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發(fā)布時(shí)間:2021-10-11 20:46  
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無(wú)塵室內(nèi)該如何防止微粒子污染呢?應(yīng)遵守下列基本原則:排除/除去,在無(wú)法避免大量微粒子發(fā)生的機(jī)臺(tái)中,為了不讓無(wú)塵室內(nèi)產(chǎn)生微粒子,因此直接做對(duì)外排氣的動(dòng)作,即所謂的局部排氣。針對(duì)排氣的對(duì)策如下:由于導(dǎo)入同量的外氣是必要的,但會(huì)伴隨大量的能源消耗。所以無(wú)法說(shuō)是肯定理想的對(duì)策。因此盡可能地在壓縮排氣量的同時(shí),不僅僅是向無(wú)塵室外排氣,而應(yīng)采用將除去粒子后的空氣再回流到無(wú)塵室內(nèi)之對(duì)策。
實(shí)驗(yàn)室潔凈度及壓力梯度:主實(shí)驗(yàn)室:面積為150m2,凈空高度為2.7m,規(guī)劃溫度(空調(diào)操控),規(guī)劃濕度(能夠思考添加抽濕機(jī)),潔凈等級(jí)為三十萬(wàn)級(jí)—十萬(wàn)級(jí),換氣次數(shù)25次/小時(shí),相對(duì)壓力為 10Pa,規(guī)劃送風(fēng)量900m3/h,過(guò)濾器送風(fēng)口的風(fēng)量為1000 m3/h。緩沖室:面積為2.9m2,凈空高度為2.7m,潔凈等級(jí)為十萬(wàn)級(jí),換氣次數(shù)15次/小時(shí),相對(duì)壓力為 5Pa,規(guī)劃送風(fēng)量110m3/h,過(guò)濾器送風(fēng)口的風(fēng)量為500 m3/h。