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發布時間:2020-10-21 09:15  
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實驗室氣路安裝要求
1、所有氣體管路都由高質量的、完全退火型、無縫連接的不銹鋼管組成。銅管只使用在氣體管路的末端,對氣體純度要求不是太嚴格的地方。
2、氣路安裝管道不得和電纜、導電線路同架鋪設。
3、易1燃氣體,如乙1炔需要和其他氣體分開單獨引入。氫氣管道若與其他可燃氣體管道平行敷設時,其間距不應小于0.5M;交叉敷設時間距不應小于0.25M。分層敷設時氫氣管道應位于上方。
4、壓縮空氣在管路上有過濾雜質和水分的凈化裝置,此凈化裝置需要并聯一路,用單獨的閥門隔離,以方便對過濾裝置進行維修。
5、高純氣體管路的連接為無縫焊接。連接到閥門或調節裝置時才可以使用接頭配件。
6、每個實驗室都要有單獨的控制閥、減壓閥和壓力表。
7、引到工作臺的氣體管路要安裝單獨的控制閥。工作臺上要均勻排放各種氣體的控制閥門。在氦氣管路前面建議安裝氣體凈化裝置。
8、每隔1.5米左右,氣體管路就需要有支架。另外根據氣體管路彎曲的半徑,設置合適的支架位置。所有彎曲處都要有支撐。氣路安裝管路所有的支架都要進行鍍鋅防腐處理。
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特種氣體的應用
電子工業是當今推動科技發展的高新技術產業,由于所用氣體的品種多、質量要求高,為有別于其它領域應用的氣體,人們把這類在電子工業中用的氣體統稱為電子特種氣體,它是當今興起的高技術含量、高投入、高附加值的高新技術產業。④為防止倒流回火應在用氣設備的支管上設置阻火器,在排入大氣的排氣管道上,為防止排氣時突遇雷電襲1擊阻止火焰蔓延至可燃氣體管道引發燃燒爆1炸事故,必須在排氣管道上設置阻火器。電子行業常用的特氣超過三十余種,按危險性質可分為不燃氣體、可燃氣體、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體等。按照物理形態可分為壓縮氣體、液化氣體和低溫氣體。
特種氣體的應用領域主要在集成電路制造、太陽能電池、化合物半導體、液晶顯示器、光纖生產四大領域,其中主要應用于半導體集成電路的生產制造。在半導體工業中應用的有110余種單元特種氣體,其中常用的有20~30種。
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實驗室氣體管道設計要求
了解實驗室設計的都知道:實驗室的任何的設計都是有規格要求的,出了這個要求的范圍那么實驗室的設計就有漏洞,就不合格,就容易發生事故。氦質譜檢漏儀隨著科技的迅猛發展,氦質譜檢漏儀及其應用技術也在不斷發展和究善。實驗室的氣體的排放是非常重要的,如果說實驗室氣體管道設計不合理,工作人員就容易出事,甚至嚴重的就會有生命危險。