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發(fā)布時間:2021-04-23 07:06  
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流量控制器基本原理
通過測量氣體流經(jīng)流量器內(nèi)加熱元件時的冷卻效應(yīng)來計量氣體流量的。氣體通過的測量段內(nèi)有兩個熱阻元件,其中一個作為溫度檢測,另一個作為加熱器。溫度傳感元件用于檢測氣體溫度,加熱器則通過改變電流來保持其溫度與被測氣體的溫度之間有一個恒定的溫度差。流量控制器熱式質(zhì)量流量器的基本原理是利用外部熱源對管道內(nèi)的被測流體加熱,熱能隨流體一起流動,通過測量因流體流動而造成的熱量(溫度)變化來反映出流體的質(zhì)量流量。當(dāng)氣體流速增加,冷卻效應(yīng)越大,使須保持熱電阻間恒溫的電流也越大。此熱傳遞正比于氣體質(zhì)量流量,即供給電流與氣體質(zhì)量流量有一對應(yīng)的函數(shù)關(guān)系來反映氣體的流量。
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流量控制器在高壓條件下如何使用?
質(zhì)量流量控制器的工作壓差范圍通常比較小, 要在高壓條件下正常使用需要特別注意三點: 一, 是要選擇耐壓符合要求的MFC; 二, 是要挑選工作壓差范圍大的產(chǎn)品型號; 三, 要在MFC氣路前面加減壓閥, 穩(wěn)定入口氣壓, 在MFC下游加背壓閥, 穩(wěn)定反應(yīng)室和MFC出口的氣壓, 適當(dāng)調(diào)節(jié)減壓閥和背壓閥, 要保證MFC的工作壓差不會超過規(guī)定的范圍。只要做到以上三點, MFC就能夠在高壓條件下穩(wěn)定工作。25psi或更低)加上微熱(50~60°C)可使得液體從設(shè)備內(nèi)部的微小氣道內(nèi)蒸發(fā)。
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流量控制器特點
1、 穩(wěn)定的流量供給,不受溫度、壓力變化
2、 寬量程比,可達(dá)100:1
3、 高達(dá)0.1%的重復(fù)性和1.0級的精度等級
4、 多參數(shù)顯示和輸出:溫度、壓力、流量等
5、 內(nèi)置70余種氣體,觸屏式直接操作切換,無需重新校準(zhǔn)
6、 標(biāo)配三種顯示方式:數(shù)字、模擬和本地面板
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