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發布時間:2021-04-09 16:48  
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對于亂流潔凈室由于主要靠空氣的稀釋作用來減輕室內污染的程度,所以主要用換氣次數這一概念,而不直接用速度的概念,不過對室內氣流速度也有如下要求:
1、送風口出口氣流速度不宜太大,和單純空調房間相比,要求速度衰減更快,擴散角度更大。
2、吹過水平面的氣流速度(例如側送時回流速度)不宜太大,以免吹起表面微粒重返氣流,而造成再污染,這一速度一般不宜大干0。2m/s。
在我國,《空氣潔凈技術措施》和<潔凈廠房設計規范))都是這樣規定的
垂直平行流(層流)潔凈室≥0。25m/s
水平平行流(層流)潔凈室≥0。35m/s

微電子C/R建設費可能花費到$10億。fab能更快的被建造起來,產品也就能更快達到這市場。許多半導體公司的口號是較便宜和較好的。然而“錢”將成為一個很重要的考慮因素。一些廠商認為適應性可節省一筆金錢,而適應性意指系統可任意移動或改變而不會招致到大的損失。C/R的擁有者和設計者的能力為改變一C/R的關鍵,所以他們從不將一開始的設計定型。

對于半導體工業而言,無塵室是一必要且不可缺之設備,其對空氣中的粒子要求非常之嚴格,故對天花板、墻壁、地板的要求亦非常嚴格。地板是人員、臺車及重量的運輸,而清除地板所用者大部分為消毒的藥品及化學藥品,當我們看見地板磨損時,也就是使用期已太久,快破了,不僅會使得清靜度的降級,也會因地板的磨損而發生空氣中粒子的增加。
