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發布時間:2021-01-08 03:50  
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什么是光刻掩模板
在薄膜、塑料或玻璃基體材料上制作各種功能圖形并,以便用于光致抗蝕劑涂層選擇性曝光的一種結構,稱為光刻掩模版。
半導體集成電路制作過程通常需要經過多次光刻工藝,在半導體晶體表面的介質層上開鑿各種摻雜窗口、電極接觸孔或在導電層上刻蝕金屬互連圖形。光刻工藝需要一整套(幾塊多至十幾塊)相互間能套準的、具有特定幾何圖形的光復印掩蔽模版。
光掩膜版行業的發展主要受下游平板顯示行業、觸控行業、半導體行業和電路板行業的發展影響,與下游終端行業的主流消費電子 (手機、平板、可穿戴設備)、筆記本電腦、車載電子、網絡通信、家用電器、LED 照明、物聯網、電子等產品的發展趨勢密切相關,預計未來幾年我國光掩膜版行業將向大尺寸、精細化、全產業鏈方向發展。作為半導體、液晶顯示器制造過程中轉移電路圖形“底片”的高精密工具,光掩膜是半導體制程中非常關鍵的一環。
通過金屬化過程,在硅襯底上布置一層僅數納米厚的金屬層。然后在這層金屬上覆上一層光刻膠。這層光阻劑在曝光(一般是紫外線)后可以被特定溶液(顯影液)溶解。使特定的光波穿過光掩膜照射在光刻膠上,可以對光刻膠進行選擇性照射(曝光)。然后使用前面提到的顯影液,溶解掉被照射的區域,這樣,光掩模上的圖形就呈現在光刻膠上。但隨著顯影液pH值的降低,堿液對氧化層和涂層樹脂的腐蝕力下降,版材的網點再現性及耐印力比用新配制的顯影液好一些。通常還將通過烘干措施,改善剩余部分光刻膠的一些性質。
光呆板業界別稱光掩模板、掩膜版,光罩,英文名字MASK或PHOTOMASK),材料:石英玻璃、金屬鉻和光感應膠,該商品是由石英玻璃或是碳酸鈉夾層玻璃做為襯底,在其上邊鍍上一層層金屬鉻和光感應膠。在塑料薄膜、塑膠或夾層玻璃化學反應原材料上制做各種各樣作用圖型并精i明確位,便于用以光致抗蝕劑鍍層可選擇性曝i光的這種構造,稱之為光刻掩模板。光刻機的結構和工作原理:光刻機的光源有:激光,紫外光、深紫外光、極紫外光。