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吸收法:利用吸收液與廢氣接觸，將廢氣中的有害物質(zhì)溶解在吸收液中，凈化廢氣。吸收液另行處理。優(yōu)點(diǎn):投資小，運(yùn)行費(fèi)用低，操作簡(jiǎn)單。缺點(diǎn):處理效率低，不穩(wěn)定，凈化效率低，約50%，難以滿足相關(guān)環(huán)境保護(hù)要求，適用于低濃度有機(jī)廢氣，有二次污染。(6)凝結(jié)法:通過(guò)凝結(jié)冷卻，溫度低于有害物質(zhì)的凝結(jié)點(diǎn)時(shí)，氣體有害物質(zhì)轉(zhuǎn)化為液體，從空氣中分離凈化。優(yōu)點(diǎn):運(yùn)行穩(wěn)定，凈化。缺點(diǎn):投資大，對(duì)環(huán)境和操作人員要求高，能耗過(guò)大，運(yùn)行費(fèi)用高。

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溶劑適用行業(yè)應(yīng)建立VOCs溶劑管理會(huì)計(jì)和管理設(shè)施管理會(huì)計(jì)，定期更新。其中溶劑管理蓋章每月記錄使用涂料、稀釋劑、固化劑、洗滌劑等原輔料的名稱、制造商、型號(hào)、購(gòu)買量和使用量等資料。常見的大行業(yè)VOCs生產(chǎn)廢棄來(lái)源和特點(diǎn)，VOCs一廠方案編制參考本文總結(jié)了電子行業(yè)、制藥行業(yè)、涂料制造、油墨制造、粘合劑制造、木材加工、家具制造、交通運(yùn)輸設(shè)備制造、皮革制造、鞋行業(yè)

由于半導(dǎo)體技術(shù)對(duì)操作室的清潔度要求極高，通常使用鼓風(fēng)機(jī)技術(shù)中揮發(fā)的各種廢氣，因此半導(dǎo)體行業(yè)的廢氣排出具有排出量大、排出濃度小的特點(diǎn)。這些廢氣排放主要分為酸性氣體、堿性氣體、有機(jī)廢氣和有毒氣體4種。酸堿廢氣主要來(lái)自擴(kuò)散、CVD、CMP、蝕刻等工序，這些工序用酸堿清洗液清洗晶片。目前，半導(dǎo)體制造技術(shù)中常用的清洗溶劑是和硫酸混合劑。這些工序產(chǎn)生的廢氣包括硫酸、氫氟酸、鹽酸、、磷酸等揮發(fā)氣，堿性氣體為氨。