真空箱氦檢漏系統批發品質售后無憂 博為光電質量可靠

真空設備設計中的注意事項

1、根據設備的工藝要求，確定真空設備的總的大允許漏率，并依據這一總漏率確定各組成部件的大允許漏率。

2、根據設備的大允許漏率等指標，在設計階段就初步確定將要采用的檢漏方法，并將其作為指導調試 驗收的基本原則之一。

3、根據設備或部件的大允許漏率指標，決定設備的密封、連接方式和總體加工精度，以及何種動密封形式能夠滿足要求。如，法蘭采用金屬密封或橡膠密封。

4、容器結構強度設計時，考慮如果采用加壓法檢漏被檢件所應具有的耐壓能力和結構強度。

5、選擇零部件結構材料時，考慮是否使用了可能被工作介質和示漏氣體腐蝕而導致損壞的材料。

6、結構設計時，在容器或系統上要留有必要的檢漏儀器備用接口，以便在設備組裝、調試過程中檢漏使用。尤其是大型、復雜的管路系統，通常需要采用分段檢漏方法，因此在管路上要設置分段隔離的閥門，并在每一隔離段上預留檢漏儀器接口。

7、零件結構設計時，盡量避免采用可能干擾檢漏工作的設計方案。例如在真空室內螺釘孔不能采用盲孔形式，因為安裝螺釘后螺孔內部剩余空間的氣體只能通過螺紋間隙逸出，形成虛漏。從而延長系統抽氣時間，干擾檢漏正常進行。如圖真空檢漏中不應出現的結構。

8、與此類似，結構設計中不允許存在連續雙面焊縫和多層密封圈結構，因為這會在中間形成“寄生積”內的氣體會形成虛漏；而當內、外雙側焊縫或密封圈同時泄漏時，“寄生容積”使示漏氣體穿越雙層焊縫的響應時間過長，無法正常檢漏。

9、焊接結構設計時，盡量減少總裝后無法檢漏的焊縫

真空泄漏中的實漏、虛漏、外漏、內漏

外漏和內漏

我們平時所講的泄漏一般是指外漏，即從真空腔體或管道的外部向內部泄漏；而內漏是指兩個本應隔離的真空腔室之間，通過閥門隔離的兩段真空管道之間，或真空腔室與管道之間，發生了泄漏。

羅茨泵上方的閥門在高真空時應該是關閉的，如果該閥門關閉不嚴，高真空時氣體就會從閥門的下面向右側泄漏，這種泄漏就是內漏。和外漏類似，內漏也會造成高真空抽氣時間延長、極限真空變差等問題。

外漏可以方便地通過檢漏儀直接找到，而內漏卻只能通過分段保壓等方式做預判斷，然后拆掉的閥門一側的管道，然后再進行檢漏（或者在閥門的一側連接檢漏儀，向另一側的管道內充入氦氣進行檢漏）。

不同真空范圍內的抽氣時間計算

高真空-超高真空領域的抽氣時間計算

這里所指的高真空至超高真空領域，是指真空度在0.2Pa以下，對于高真空領域，要充分考慮容器壁以及容器內物體的氣體放出，因此，抽氣時間和抽氣速度的計算方法和低真空領域不同。

p(t)———到達壓強；

Se———實際抽氣速度；

Ql———腔體漏氣量；

Qg(t)———腔體內部放出氣體量；

p0———初期壓強。

氣體的放出量Qg(t)隨著時間t而減少。計算開始時，假定一個抽氣時間，根據當時的放氣量來求得到達的真空度。如果計算結果p(t)和所需的真空度不一致，則重新假定時間，根據新假設時間的氣體放出量再次計算。不斷重復，終讓p(t)在所需的真空范圍內。

高真空領域的抽氣時間計算遠比低真空領域復雜。真空腔體的內表面經過酒精清洗和150～200℃烘烤處理的兩種情況下，后者的氣體放出會減少10%左右，因此使用同樣的抽氣泵所能到達的真空度也會更高一些。

真空腔體內的部件形狀和材質也極大地影響到達的真空度和抽氣時間。如果使用了樹脂類材料，則到達的真空度會比單純考慮金屬表面的氣體放出要差2～3個數量級。內部使用螺釘時，螺紋部殘留的氣體隨著抽氣時間緩慢放出。為了加速螺紋部的氣體放出，要在螺釘中心穿孔，或在螺紋側面開一個出氣孔。因此，內部構造越復雜，影響真空的因素就越多，要獲得高真空，設計上就更需要經驗。